公开(公告)号：CN104831237A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201510272142.8

申请日：2015-05-25

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

发明人： 王建强 ,  马群 ,  修海志 ,  吕玉武 ,  闵天圭

IPC分类号： C23C14/26 ,  C23C14/54

CPC分类号： C23C14/26 ,  C23C14/243 ,  C23C14/54 ,  C23C14/542

摘要： 本发明公开了一种蒸镀装置和蒸镀系统。该蒸镀装置包括：第一加热部；导热部，导热部包括柱状的第一导热部以及环绕第一导热部并与第一导热部间隔一定距离的第二导热部，第一导热部与第二导热部之间的空间用于放置蒸镀材料，导热部用于将第一加热部散发的热量传导至蒸镀材料并使蒸镀材料升华；喷射部，喷射部用于将通过导热部加热升华的蒸镀材料喷出。该蒸镀系统包括：根据本发明的蒸镀装置、监控装置、PLC控制装置及温度控制装置，其中，监控装置用于监控蒸镀材料的喷射速率；PLC控制装置与监控装置进行通信，用于接收监控装置获取的喷射速率，并对喷射速率大小进行判断，根据判断结果向温度控制装置发出指令调节第一加热部的加热温度。

公开(公告)号：CN104831237B

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201510272142.8

申请日：2015-05-25

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

发明人： 王建强 ,  马群 ,  修海志 ,  吕玉武 ,  闵天圭

IPC分类号： C23C14/26 ,  C23C14/54

CPC分类号： C23C14/26 ,  C23C14/243 ,  C23C14/54 ,  C23C14/542

摘要： 本发明公开了一种蒸镀装置和蒸镀系统。该蒸镀装置包括：第一加热部；导热部，导热部包括柱状的第一导热部以及环绕第一导热部并与第一导热部间隔一定距离的第二导热部，第一导热部与第二导热部之间的空间用于放置蒸镀材料，导热部用于将第一加热部散发的热量传导至蒸镀材料并使蒸镀材料升华；喷射部，喷射部用于将通过导热部加热升华的蒸镀材料喷出。该蒸镀系统包括：根据本发明的蒸镀装置、监控装置、PLC控制装置及温度控制装置，其中，监控装置用于监控蒸镀材料的喷射速率；PLC控制装置与监控装置进行通信，用于接收监控装置获取的喷射速率，并对喷射速率大小进行判断，根据判断结果向温度控制装置发出指令调节第一加热部的加热温度。