掩膜版安装框架和利用掩膜版安装框架固定掩膜版的方法

    公开(公告)号:CN105607412A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201610005579.X

    申请日:2016-01-04

    IPC分类号: G03F1/64

    摘要: 本发明涉及一种掩膜版安装框架和利用掩膜版安装框架固定掩膜版的方法。该掩膜版安装框架包括框架本体和设置在框架本体的第一侧边上的拉伸单元,拉伸单元包括用于连接掩膜版的滑块及使滑块沿垂直于第一侧边的方向滑动的导向机构。本发明在第一侧边上设置有拉伸单元,拉伸单元有用于连接掩膜版的滑块和限制滑块滑动方向的导向机构。在将掩膜版安装到本发明提供的掩膜版安装框架上时,仅需将掩膜版的一端部固定在第一侧边的拉伸单元中的滑块上,滑动滑块,使掩膜版绷紧,安装过程简单。而在使用过程中掩膜版发生松弛时,也只需滑动滑块使掩膜版再次绷紧即可,操作也比较简单,同时由于不需要更换新的掩膜版能够降低OLED面板的制作成本。

    一种NMOS器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN104362177A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201410532290.4

    申请日:2014-10-10

    摘要: 本发明提供一种NMOS器件及其制作方法,包括:第一栅极结构和第二栅极结构;位于所述第一栅极结构和第二栅极结构之间且靠近所述第一栅极结构处的第一轻掺杂区,位于靠近所述第二栅极结构处且在所述第二栅极结构远离所述第一栅极结构的一侧的第二轻掺杂区,所述第一轻掺杂区和所述第二轻掺杂区为N型轻掺杂区;位于所述第一轻掺杂区和所述第二栅极结构之间的N型重掺杂区;位于所述第一栅极结构远离所述第二栅极结构的一侧的源区,位于所述第二轻掺杂区远离所述第二栅极结构的一侧的漏区。本发明能够使得源漏串联电阻降低40%左右,线性区和饱和区的跨导分别增加50%和20%左右,获得较小的漏电流和较低功耗。

    薄膜图形化方法及掩膜板

    公开(公告)号:CN104157550B

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201410364244.8

    申请日:2014-07-28

    IPC分类号: H01L21/02 C23C14/04 C23C16/04

    摘要: 本发明实施例公开了一种薄膜图形化方法及掩膜板,涉及微电子技术领域,能够直接在基板上沉积形成具有孔洞的薄膜。本发明的方法包括:在基板上方放置第一掩膜板,在所述第一掩膜板的遮挡下进行第一次薄膜沉积;然后去掉第一掩膜板,在基板上方放置第二掩膜板,在所述第二掩膜板的遮挡下进行第二次薄膜沉积;其中,所述第一掩膜板和所述第二掩膜板上均设置有与薄膜上的所述孔洞区域相对应的第一遮挡部;所述第一掩膜板的非遮挡区域与所述第二掩膜板的非遮挡区域互补后形成的图形,与所述孔洞之外的薄膜分布区域相对应。

    一种蒸镀装置和蒸镀系统

    公开(公告)号:CN104831237A

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201510272142.8

    申请日:2015-05-25

    IPC分类号: C23C14/26 C23C14/54

    摘要: 本发明公开了一种蒸镀装置和蒸镀系统。该蒸镀装置包括:第一加热部;导热部,导热部包括柱状的第一导热部以及环绕第一导热部并与第一导热部间隔一定距离的第二导热部,第一导热部与第二导热部之间的空间用于放置蒸镀材料,导热部用于将第一加热部散发的热量传导至蒸镀材料并使蒸镀材料升华;喷射部,喷射部用于将通过导热部加热升华的蒸镀材料喷出。该蒸镀系统包括:根据本发明的蒸镀装置、监控装置、PLC控制装置及温度控制装置,其中,监控装置用于监控蒸镀材料的喷射速率;PLC控制装置与监控装置进行通信,用于接收监控装置获取的喷射速率,并对喷射速率大小进行判断,根据判断结果向温度控制装置发出指令调节第一加热部的加热温度。