公开(公告)号：CN104694891A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201510130620.1

申请日：2015-03-24

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

发明人： 王珏 ,  周立刚 ,  张敏 ,  慕国鹏 ,  高斌 ,  康英男 ,  谢晓龙 ,  张文辉 ,  刘哲 ,  赵东升 ,  张毅

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本发明提供了一种去离子水供给装置，该装置包括去离子水容器，去离子水容器内设置有容纳去离子水的容纳腔，以及检测去离子水液面高度的第一传感器；还包括去离子水储存容器，去离子水储存容器通过带有电磁开关阀的出水管道与容纳腔连通；控制装置，控制装置在接收的第一传感器检测的去离子水液面低于设定值时，控制电磁开关阀打开，去离子水储存容器内的去离子水流入到去离子水容器。在上述技术方案中，通过采用去离子水储存容器将去离子存放起来，在添加去离子水时，去离子水容器与外界隔绝，因此，去离子水容器内的真空环境不会被破坏掉，从而保证了成膜的效率，并且极大的简化了向去离子水容器内添加去离子水的步骤。

公开(公告)号：CN205529022U

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201620221954.X

申请日：2016-03-22

申请人： 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

发明人： 康英男 ,  周立刚 ,  赵东升 ,  慕国鹏 ,  张毅

IPC分类号： C23C14/50

摘要： 本实用新型公开一种支撑针调整装置，涉及真空蒸镀技术领域，以精确地调整支撑针的高度，降低玻璃基板在镀膜过程中发生偏移甚至破碎的可能性。所述底座，其一侧设有缺口部，所述缺口部用于在对支撑针进行调整时容纳支撑针；两个高度测量柱，其分别竖直设置于所述缺口部两侧；以及信号发射器和信号接收器，所述信号发射器设置在两个所述高度测量柱中的一个高度测量柱上，所述信号接收器设置于另一高度测量柱上，所述信号发射器和所述信号接收器各自距所述底座上表面的距离相等，且二者正对设置。本实用新型提供的支撑针调整装置用于真空蒸镀设备中的支撑针的调整。