一种去离子水供给装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104694891A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201510130620.1

    申请日:2015-03-24

    IPC分类号: C23C14/34

    摘要: 本发明提供了一种去离子水供给装置,该装置包括去离子水容器,去离子水容器内设置有容纳去离子水的容纳腔,以及检测去离子水液面高度的第一传感器;还包括去离子水储存容器,去离子水储存容器通过带有电磁开关阀的出水管道与容纳腔连通;控制装置,控制装置在接收的第一传感器检测的去离子水液面低于设定值时,控制电磁开关阀打开,去离子水储存容器内的去离子水流入到去离子水容器。在上述技术方案中,通过采用去离子水储存容器将去离子存放起来,在添加去离子水时,去离子水容器与外界隔绝,因此,去离子水容器内的真空环境不会被破坏掉,从而保证了成膜的效率,并且极大的简化了向去离子水容器内添加去离子水的步骤。

    一种用于溅射镀膜设备的夹具及溅射镀膜设备

    公开(公告)号:CN205893381U

    公开(公告)日:2017-01-18

    申请号:CN201620567539.X

    申请日:2016-06-12

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/34 C23C14/35

    摘要: 本实用新型公开了一种夹具,包括夹头和安装壳,夹头固定在安装壳上,其中,安装可的支撑背板与夹头的安装背板相对设置,夹头还包括第一安装侧板,第一安装侧板固定在安装背板上,第一安装侧板的延伸方向与夹持板的凸出方向相反,安装壳还包括支撑侧板,支撑侧板设置在支撑背板上,且与第一安装侧板相对设置,第一安装侧板上形成有第一通孔,支撑侧板上设置有第二通孔,夹具还包括操作机构和连接杆,操作机构能够控制连接杆穿过第一通孔和第二通孔,以将夹头固定在安装壳上,并且操作机构还能够控制连接杆缩回安装壳内。本实用新型还提供一种溅射镀膜设备。在所述夹具中,可以方便地更换夹头。