掩膜板及其制作方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105803389A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201610330444.0

    申请日:2016-05-18

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    CPC分类号: C23C14/042 C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法。其中,该掩膜板用于对显示基板进行蒸镀,包括:图案部,对应于显示基板的显示区域;应力缓冲部,对应于显示基板的至少部分非显示区域;所述应力缓冲部的一侧设置有多个第一凹槽,所述应力缓冲部的另一侧设置有多个第二凹槽,所述第一凹槽在所述掩膜板所在平面上的第一投影与所述第二凹槽在所述掩膜板所在平面上的第二投影不相交。通过本发明,保证了掩膜板在蒸镀过程中的质量,从而达到了提高AMOLED的产品品质的效果。

    掩模板及其制作方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108666420A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201710188795.7

    申请日:2017-03-27

    发明人: 嵇凤丽 梁逸南

    IPC分类号: H01L51/00 C23C14/04

    摘要: 一种掩模板及其制作方法。该掩模板包括掩模基板,掩模基板上包括掩模区,掩模区包括有效区以及围绕有效区的虚设区,在有效区和虚设区内均设置有贯穿掩模基板的多个通孔,其中,设置在虚设区的多个通孔填充遮挡材料。该掩模板对设置在虚设区的通孔填充遮挡材料,一方面可以阻挡蒸镀材料蒸镀到待蒸镀的衬底基板上,另一方面可以促进掩模区达到张力平衡以及改善有效区边缘刻蚀不良的现象,从而避免了采用该掩模板蒸镀形成的有效显示区边缘显示异常的现象,提升了产品的良率。

    一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板

    公开(公告)号:CN105586568B

    公开(公告)日:2018-01-26

    申请号:CN201610159061.1

    申请日:2016-03-18

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/12 G03F1/64

    CPC分类号: C23C14/042

    摘要: 本发明提供一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板,属于显示技术领域,其可解决现有的掩膜板框架模组中的蒸镀掩膜板的边缘不固定导致的在蒸镀时蒸镀掩膜板的边缘容易卷曲翘起,影响蒸镀效果的问题。本发明的掩膜板框架模组,包括框架、覆盖掩膜板和至少两个蒸镀掩膜板,蒸镀掩膜板依次设置在框架上,两个相邻的蒸镀掩膜板之间具有缝隙,在框架上与缝隙对应的位置设置有第一沟槽;第一沟槽包括第一沟槽焊接部和第一沟槽非焊接部;蒸镀掩膜板包括与第一沟槽焊接部对应的第一子蒸镀掩膜板和与第一沟槽非焊接部对应的第二子蒸镀掩膜板;第一子蒸镀掩膜板的边缘与第一沟槽焊接部的边缘重合。

    一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板

    公开(公告)号:CN105586568A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201610159061.1

    申请日:2016-03-18

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/12 G03F1/64

    CPC分类号: C23C14/042 C23C14/12 G03F1/64

    摘要: 本发明提供一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板,属于显示技术领域,其可解决现有的掩膜板框架模组中的蒸镀掩膜板的边缘不固定导致的在蒸镀时蒸镀掩膜板的边缘容易卷曲翘起,影响蒸镀效果的问题。本发明的掩膜板框架模组,包括框架、覆盖掩膜板和至少两个蒸镀掩膜板,蒸镀掩膜板依次设置在框架上,两个相邻的蒸镀掩膜板之间具有缝隙,在框架上与缝隙对应的位置设置有第一沟槽;第一沟槽包括第一沟槽焊接部和第一沟槽非焊接部;蒸镀掩膜板包括与第一沟槽焊接部对应的第一子蒸镀掩膜板和与第一沟槽非焊接部对应的第二子蒸镀掩膜板;第一子蒸镀掩膜板的边缘与第一沟槽焊接部的边缘重合。

    OLED显示基板及其制作方法、显示装置及掩模板

    公开(公告)号:CN105914226A

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201610371410.6

    申请日:2016-05-30

    IPC分类号: H01L27/32

    CPC分类号: H01L27/3244

    摘要: 本发明涉及显示技术领域,公开了一种OLED显示基板及其制作方法、显示装置和一种掩模板。OLED显示基板包括衬底基板以及形成于衬底基板之上的多个像素单元,每个像素单元包括位于衬底基板之上的第一电极、位于第一电极之上的有机发光层和位于有机发光层之上的第二电极,多个像素单元的第二电极相连接,OLED显示基板还包括位于多个像素单元的第二电极之上的电极增厚层,电极增厚层包括第一增厚部和第二增厚部,第一增厚部与OLED显示基板的边缘区域位置相对,第二增厚部位于相邻两个像素单元之间。相比现有技术,该方案提高了OLED显示产品的显示品质和电学特性。

    掩模板及其制作方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108666420B

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:CN201710188795.7

    申请日:2017-03-27

    发明人: 嵇凤丽 梁逸南

    IPC分类号: H01L51/00 C23C14/04

    摘要: 一种掩模板及其制作方法。该掩模板包括掩模基板,掩模基板上包括掩模区,掩模区包括有效区以及围绕有效区的虚设区,在有效区和虚设区内均设置有贯穿掩模基板的多个通孔,其中,设置在虚设区的多个通孔填充遮挡材料。该掩模板对设置在虚设区的通孔填充遮挡材料,一方面可以阻挡蒸镀材料蒸镀到待蒸镀的衬底基板上,另一方面可以促进掩模区达到张力平衡以及改善有效区边缘刻蚀不良的现象,从而避免了采用该掩模板蒸镀形成的有效显示区边缘显示异常的现象,提升了产品的良率。