用于自动调整配给器的配给单元的方法和设备

    公开(公告)号:CN108811330B

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN201810516793.0

    申请日:2014-07-21

    Abstract: 一种配给设备包括框架以及第一和第二配给单元,所述框架具有构台,所述构台被配置以提供在X轴和Y轴方向上的移动,所述第一和第二配给单元被连接到所述构台并且被配置以配给材料到衬底上。所述第二配给单元通过自动调整机构连接到所述构台。所述配给设备进一步包括控制器,所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器和所述自动调整机构的操作。所述自动调整机构被配置以在X轴和Y轴方向上移动所述第二配给器,以操控所述第一配给单元和所述第二配给之间的间距。进一步公开在所述衬底上配给材料的方法。

    以气动驱动分配单元的螺线管阀将材料分配于基板上的方法

    公开(公告)号:CN109311045B

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN201780028859.5

    申请日:2017-05-05

    Abstract: 本发明涉及一种控制分配单元的方法,所述分配单元用于将材料分配于基板上。所述方法包括将气动驱动泵的螺线管线圈连接至分配系统的放大器输出端,和用所述放大器驱动所述螺线管线圈以使得所述气动驱动泵将材料分配于基板上。所述方法还可包括在不活动周期期间命令无功电流在所述螺线管线圈中流动。所述无功电流可足以引起所述螺线管线圈的升温,但又不足以将所述螺线管激活至接合位置。所述方法还可包括命令第一电流电平在所述螺线管线圈中流动以快速地激活所述螺线管,和在激活所述螺线管之后命令第二电流电平在所述螺线管线圈中流动。

    用于自动调整配给器的配给单元的方法和设备

    公开(公告)号:CN107670902B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201710798633.5

    申请日:2014-07-21

    Abstract: 一种配给设备包括框架以及第一和第二配给单元,所述框架具有构台,所述构台被配置以提供在X轴和Y轴方向上的移动,所述第一和第二配给单元被连接到所述构台并且被配置以配给材料到衬底上。所述第二配给单元通过自动调整机构连接到所述构台。所述配给设备进一步包括控制器,所述控制器被配置以控制所述构台、所述第一配给器、所述第二配给器和所述自动调整机构的操作。所述自动调整机构被配置以在X轴和Y轴方向上移动所述第二配给器,以操控所述第一配给单元和所述第二配给之间的间距。进一步公开在所述衬底上配给材料的方法。

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