公开(公告)号：CN101094932A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200580039033.6

申请日：2005-09-16

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： M·龙 ,  J·M·格雷西 ,  B·E·科珀

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  B05D1/60 ,  C23C14/246 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/56

Abstract: 一种将颗粒物质蒸发并将其在表面上冷凝以形成膜层的方法，其在第一容器内提供了一些第一颗粒物质并在与第一容器相隔开的第二容器内提供了一些第二颗粒物质，第一容器和第二容器分别具有第一开口和第二开口。第一颗粒物质通过第一容器内的第一开口传送到歧管中并在歧管内蒸发。第二颗粒物质通过第二容器内的第二开口传送到歧管中并在歧管内蒸发，第一蒸发的颗粒物质和第二蒸发的颗粒物质借此进行混合。所混合的蒸发物质从歧管输送到表面上以形成膜层。