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公开(公告)号：CN101548166A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200780032346.8
申请日：2007-08-20
Applicant: 伊斯曼柯达公司
Inventor： M·龙
IPC: G01L21/12
CPC classification number: G01L21/12
Abstract: 本发明提供一种用于测量在形成一设备的一层的过程中使用的气化的有机或无机材料的压力的皮拉尼型真空计，它包括：延长的长丝，其长丝具有5微米或更小的厚度且具有大于0.0035/℃的电阻温度系数，该长丝暴露于气化的有机或无机材料；用于将电流施加至长丝使得长丝的温度小于650℃从而使有机材料的分子结构不退化的装置；和响应电阻的改变或电流的改变以判定自该长丝的热损失的装置，其中热损失为气化的有机或无机材料的压力的函数。
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公开(公告)号：CN101023196A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031807.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/26
Abstract: 一种蒸发粒状材料并让它们凝结到表面上形成层的方法在具有其尺寸设计为允许粒状材料经其自由流动的开口的第一容器中提供一定数量的粒状材料。粒状材料经过开口转移到螺旋加料器中。转动至少一部分螺旋加料器以便将粒状材料从第一容器沿着进料通道转移到蒸发区，在此，粒状材料的至少一种组分部分被蒸发并运送到表面上形成层。螺旋加料器的尺寸选择为能促使粒状材料经过开口的自由流动。
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公开(公告)号：CN100575537C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200680027360.4
申请日：2006-07-20
Applicant: 伊斯曼柯达公司
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/246
Abstract: 一种在均匀的速率下蒸发材料而在基材上形成层的方法，包括：从保持在低于材料的有效蒸发温度之下的温度可控区向蒸发能量源提供可蒸发材料柱，其中，在蒸发期间柱体积可以改变；以及提供向柱表面传送恒定热流的蒸发能量源，使得单位时间内均匀体积的可蒸发材料被蒸发从而在基材上成层，而与供给速率无关。
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公开(公告)号：CN101057349A
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200580038386.4
申请日：2005-11-09
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/542 , C23C14/12 , C23C14/246 , H01L51/001
Abstract: 一种用于控制蒸发的有机材料在基底表面上的沉积的方法，它包括提供具有至少一个缝隙的总管，蒸发的有机材料穿过该缝隙用以沉积在基底表面上；和提供一定体积的有机材料，并将该有机材料的温度维持在第一状态，使得其蒸汽压力低于在基底上有效地形成一层所需要的蒸汽压力，和在第二状态把占该有机材料的初始体积的一定体积百分数的有机材料加热，使得被加热的有机材料的蒸汽压力足以有效地形成一层。
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公开(公告)号：CN101052738A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200580037923.3
申请日：2005-10-26
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/542 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 用于控制气化有机材料沉积在基片表面的方法，包括提供加热装置以产生气化有机材料；提供具有至少一个孔的歧管，气化有机材料穿过该孔，在所述基片表面沉积；提供控制器，其独立于所述加热装置运行，并在第一条件有效，用于限制气化有机材料穿过所述孔的通过，以及在第二条件有效，用于促进气化有机材料穿过所述孔的通过；且其中所述加热装置，或所述控制器，或两者都邻近于所述歧管。
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公开(公告)号：CN101248206A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200680027360.4
申请日：2006-07-20
Applicant: 伊斯曼柯达公司
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/246
Abstract: 一种在均匀的速率下蒸发材料而在基材上形成层的方法，包括：从保持在低于材料的有效蒸发温度之下的温度可控区向蒸发能量源提供可蒸发材料柱，其中，在蒸发期间柱体积可以改变；以及提供向柱表面传送恒定热流的蒸发能量源，使得单位时间内均匀体积的可蒸发材料被蒸发从而在基材上成层，而与供给速率无关。
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公开(公告)号：CN101111626A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200680003621.9
申请日：2006-01-30
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 一种颗粒材料(10)的蒸发方法，包括提供一个或者多个容器(15)，该容器各容纳各具有至少一种组分的可能有差别的颗粒材料(10)，在至少其中一个容器(15)内使颗粒材料(10)流体化，并提供与至少其中一个容器(15)热隔离的加热区域(50)。该方法进一步包括传递从各个容器(15)接收到的颗粒材料(10)至该蒸发区域(50)，以及在该蒸发区域(50)施加热量来蒸发所传递的颗粒材料(10)。
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公开(公告)号：CN101094932A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200580039033.6
申请日：2005-09-16
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/60 , C23C14/246 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种将颗粒物质蒸发并将其在表面上冷凝以形成膜层的方法，其在第一容器内提供了一些第一颗粒物质并在与第一容器相隔开的第二容器内提供了一些第二颗粒物质，第一容器和第二容器分别具有第一开口和第二开口。第一颗粒物质通过第一容器内的第一开口传送到歧管中并在歧管内蒸发。第二颗粒物质通过第二容器内的第二开口传送到歧管中并在歧管内蒸发，第一蒸发的颗粒物质和第二蒸发的颗粒物质借此进行混合。所混合的蒸发物质从歧管输送到表面上以形成膜层。
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公开(公告)号：CN100557069C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200580031807.0
申请日：2005-09-16
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/26
Abstract: 一种蒸发粒状材料并让它们凝结到表面上形成层的方法在具有其尺寸设计为允许粒状材料经其自由流动的开口的第一容器中提供一定数量的粒状材料。粒状材料经过开口转移到螺旋加料器中。转动至少一部分螺旋加料器以便将粒状材料从第一容器沿着进料通道转移到蒸发区，在此，粒状材料的至少一种组分部分被蒸发并运送到表面上形成层。螺旋加料器的尺寸选择为能促使粒状材料经过开口的自由流动。
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公开(公告)号：CN1969055A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200580019502.8
申请日：2005-06-03
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/0008
Abstract: 一种将材料蒸发到基材表面以形成膜的方法，包括提供一定量的材料到蒸发装置中，在处于第一温度条件的该蒸发装置中加热该材料，和施加作用于一部分材料的热脉冲以引起材料的该部分蒸发并且被施加到基材表面。
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