公开(公告)号：CN101057349A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200580038386.4

申请日：2005-11-09

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： M·L·博罗森 ,  M·龙 ,  J·M·格雷西 ,  J·张 ,  B·E·科普 ,  T·W·帕洛恩 ,  N·P·雷登

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/40 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/542 ,  C23C14/12 ,  C23C14/246 ,  H01L51/001

Abstract: 一种用于控制蒸发的有机材料在基底表面上的沉积的方法，它包括提供具有至少一个缝隙的总管，蒸发的有机材料穿过该缝隙用以沉积在基底表面上；和提供一定体积的有机材料，并将该有机材料的温度维持在第一状态，使得其蒸汽压力低于在基底上有效地形成一层所需要的蒸汽压力，和在第二状态把占该有机材料的初始体积的一定体积百分数的有机材料加热，使得被加热的有机材料的蒸汽压力足以有效地形成一层。

公开(公告)号：CN101094932A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200580039033.6

申请日：2005-09-16

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： M·龙 ,  J·M·格雷西 ,  B·E·科珀

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/12 ,  B05D1/60 ,  C23C14/246 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/56

Abstract: 一种将颗粒物质蒸发并将其在表面上冷凝以形成膜层的方法，其在第一容器内提供了一些第一颗粒物质并在与第一容器相隔开的第二容器内提供了一些第二颗粒物质，第一容器和第二容器分别具有第一开口和第二开口。第一颗粒物质通过第一容器内的第一开口传送到歧管中并在歧管内蒸发。第二颗粒物质通过第二容器内的第二开口传送到歧管中并在歧管内蒸发，第一蒸发的颗粒物质和第二蒸发的颗粒物质借此进行混合。所混合的蒸发物质从歧管输送到表面上以形成膜层。