公开(公告)号：CN1495683A

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN03132749.4

申请日：2003-09-23

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： M·A·马库斯 ,  J·格雷斯 ,  J·H·克卢格 ,  S·A·范斯利克

IPC: G09F9/30 ,  H05B33/10 ,  H01L51/40 ,  H01L33/00

CPC classification number: H01L51/0002 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/3281 ,  H01L51/0003 ,  H01L51/0004 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/005 ,  H01L51/0052 ,  H01L51/0059 ,  H01L51/0062 ,  H01L51/0081 ,  H01L51/0084 ,  H01L51/0085 ,  H01L51/0089 ,  H01L51/56

Abstract: 一种沉积图案化有机层的方法，包括：在减压的工作腔内提供一个集流腔和一个OLED显示器衬底，并且彼此间隔排列；提供一个密封覆盖集流腔的至少一个表面的结构，该结构包括多个从该结构延伸出来伸入集流腔的喷嘴。该方法还包括将气化有机材料送入集流腔，以及向集流腔加压注入惰性气体，使得惰性气体提供流经每个喷嘴的粘性气流，该粘性气流输送来自集流腔的至少部分气化有机材料通过喷嘴，以提供惰性气体和气化有机发光材料的定向射流，将该定向射流投射到OLED衬底上，以在衬底上沉积有机层的图案。