公开(公告)号：CN1568107A

公开(公告)日：2005-01-19

申请号：CN200410003845.2

申请日：2004-01-28

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： J·M·格雷斯 ,  D·R·弗雷曼 ,  N·雷登 ,  J·H·克卢格 ,  S·A·范斯利克

IPC: H05B33/10 ,  H05B33/14 ,  H05B33/26 ,  C23C16/04

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243

Abstract: 根据本发明提供一种设计用于热汽相淀积的系统的方法，该系统包括要被淀积在工件上的材料、用于容纳材料的长条形的容器、用于加热容器中的材料使材料汽化的加热器，该容器限定了n个孔，用于在长条形方向上以长条形的方式发射汽化的材料，该设计包括以下步骤：计算在所需淀积速率下单位长度上总的源产量Q；计算在源的总孔导流为CA时产量Q所要求的源的内部压力P；将该系统建立成流导的阶梯网络的模型，该长条形的容器在孔之间具有容器导流CB，导流Cb＝nCB，该孔具有复合流导，其中Cai是各个孔的流导；利用阶梯网络模型，设计沿着容器的长条形方向具有所需的压力均匀性的系统。

公开(公告)号：CN1922339A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200580005611.4

申请日：2005-02-11

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： J·M·格雷斯 ,  D·R·弗里曼 ,  J·H·克卢格 ,  N·P·雷登

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/001

Abstract: 一种用于沉积材料到基体上的热物理蒸汽沉积源，所述源包含用于接纳材料的加长容器(所述容器在加长方向的流导为CB)和用于加热容器中的材料以使材料蒸发至分压为Pm的加热器。所述容器有至少一个沿其长度方向布置有多个开口的构件，所述开口的总流导为CA，其中式(I)和用于加热容器各侧的末端加热器减少材料在容器上的冷凝。

公开(公告)号：CN1495683A

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN03132749.4

申请日：2003-09-23

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： M·A·马库斯 ,  J·格雷斯 ,  J·H·克卢格 ,  S·A·范斯利克

IPC: G09F9/30 ,  H05B33/10 ,  H01L51/40 ,  H01L33/00

CPC classification number: H01L51/0002 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/3281 ,  H01L51/0003 ,  H01L51/0004 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/005 ,  H01L51/0052 ,  H01L51/0059 ,  H01L51/0062 ,  H01L51/0081 ,  H01L51/0084 ,  H01L51/0085 ,  H01L51/0089 ,  H01L51/56

Abstract: 一种沉积图案化有机层的方法，包括：在减压的工作腔内提供一个集流腔和一个OLED显示器衬底，并且彼此间隔排列；提供一个密封覆盖集流腔的至少一个表面的结构，该结构包括多个从该结构延伸出来伸入集流腔的喷嘴。该方法还包括将气化有机材料送入集流腔，以及向集流腔加压注入惰性气体，使得惰性气体提供流经每个喷嘴的粘性气流，该粘性气流输送来自集流腔的至少部分气化有机材料通过喷嘴，以提供惰性气体和气化有机发光材料的定向射流，将该定向射流投射到OLED衬底上，以在衬底上沉积有机层的图案。