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公开(公告)号：CN1386892A
公开(公告)日：2002-12-25
申请号：CN02118054.7
申请日：2002-04-22
Applicant: 伊斯曼柯达公司
CPC classification number: C23C14/547 , C23C14/12
Abstract: 本发明涉及对在制造有机发光装置中以有机材料的物理气相沉积的方式形成有机层进行监测和控制的设备。
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