公开(公告)号：CN1386892A

公开(公告)日：2002-12-25

申请号：CN02118054.7

申请日：2002-04-22

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： S·A·范 ,  斯利克 ,  M·A·马库斯 ,  J·P·斯庞霍韦 ,  R·G·斯帕恩 ,  D·R·弗雷曼

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/22 ,  H01L51/20 ,  H05B33/14 ,  H05B33/20

CPC classification number: C23C14/547 ,  C23C14/12

Abstract: 本发明涉及对在制造有机发光装置中以有机材料的物理气相沉积的方式形成有机层进行监测和控制的设备。

公开(公告)号：CN1568107A

公开(公告)日：2005-01-19

申请号：CN200410003845.2

申请日：2004-01-28

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： J·M·格雷斯 ,  D·R·弗雷曼 ,  N·雷登 ,  J·H·克卢格 ,  S·A·范斯利克

IPC: H05B33/10 ,  H05B33/14 ,  H05B33/26 ,  C23C16/04

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243

Abstract: 根据本发明提供一种设计用于热汽相淀积的系统的方法，该系统包括要被淀积在工件上的材料、用于容纳材料的长条形的容器、用于加热容器中的材料使材料汽化的加热器，该容器限定了n个孔，用于在长条形方向上以长条形的方式发射汽化的材料，该设计包括以下步骤：计算在所需淀积速率下单位长度上总的源产量Q；计算在源的总孔导流为CA时产量Q所要求的源的内部压力P；将该系统建立成流导的阶梯网络的模型，该长条形的容器在孔之间具有容器导流CB，导流Cb＝nCB，该孔具有复合流导，其中Cai是各个孔的流导；利用阶梯网络模型，设计沿着容器的长条形方向具有所需的压力均匀性的系统。

公开(公告)号：CN1444423A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN03120155.5

申请日：2003-03-10

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： D·R·弗雷曼 ,  N·雷登 ,  S·A·范斯利克

IPC: H05B33/10 ,  C23C14/24

Abstract: 一种长条形热物理蒸汽淀积源，用来在形成有机发光器件时使有机材料蒸发到一结构，它包括用来接收可蒸发的有机材料的一长条形容器和一密封地设置在容器上的长条形蒸发加热器。蒸发加热器包括多个沿加热器长度方向形成的蒸汽流孔，这些孔被排列成可使沿源的长度方向提供的已蒸发的有机材料蒸汽流的均匀性得到改善。