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公开(公告)号：CN101432853B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200780015533.5
申请日：2007-05-22
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德
IPC: H01L21/301 , H01L21/268
CPC classification number: H01L21/268 , B23K26/0624 , B23K26/083 , B23K26/0876 , B23K26/40 , B23K2103/172 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , H01L21/31105 , H01L21/31127 , H01L21/481
Abstract: 一激光输出，该激光输出含有至少一具有一长于1.1μm而短于5μm(最好约1.1μm)的波长并且具有一窄于100ps(最好是窄于10ps)的脉冲宽度的激光脉冲(32)，可供移除比如SRO或SiCOH的低k介电材料而不致损害到基材。利用一与一放大模块(16)并同运作的震荡器模块(12)以产生该激光输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101981687A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980111743.3
申请日：2009-03-25
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德 , 凯利·J.·布鲁兰德 , 柯林特·R.·凡德吉亚森 , 马克·A.·昂瑞斯 , 布莱迪·尼尔森 , 史帝夫·史华伦杰
CPC classification number: H01S3/0007 , B23K26/042 , B23K26/0622 , B23K26/0853
Abstract: 以一激光处理一工件包含按第一脉冲重复频率产生激光脉冲。该第一脉冲重复频率提供一射束定位系统与一或更多协同射束位置补偿构件的协调的参考计时，借此相对于该工件校齐射束递送坐标。该方法也包含，按一低于该第一脉冲重复频率的第二脉冲重复频率对该等激光脉冲的一子集合进行选择性放大。该等包含在该子集合内的激光脉冲的选择是基于该第一脉冲重复频率以及自该射束定位系统所接收的位置数据。该方法进一步包含利用该一或更多协同射束位置补偿构件来调整该等射束递送坐标，借此将该等经放大激光脉冲导引至该工件上的选定目标。
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公开(公告)号：CN101496320A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200780028076.3
申请日：2007-07-25
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德 , 大卫·M.·海明威 , 彭晓源 , 任文升
CPC classification number: H01S3/2316 , B23K26/0622 , H01S3/0064 , H01S3/0085 , H01S3/06758 , H01S3/09408 , H01S3/0941 , H01S3/09415 , H01S3/10038 , H01S3/2333
Abstract: 本发明的激光系统实施例的优点为使用脉冲式光纤型激光源(12)输出，其时间脉冲轮廓可被程序化以采用一脉冲形状范围。脉冲式光纤激光具有尖峰功率限制，以避免发生非所希望的非线性效应；所以，该装置的激光输出功率接着会在一二极管泵激固态光功率放大器(DPSS－PA)(16)中被放大。该DPSS－PA会将一脉冲式光纤主振荡器功率放大器(14)所欲求的低尖峰功率输出放大至更高的尖峰功率位准处，并且从而还会有效地提高一指定脉冲重复频率处每道脉冲的可用能量。该脉冲式光纤主振荡器功率放大器与该二极管泵激固态功率放大器的结合便称为串接固态光放大器(10)。
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公开(公告)号：CN101432853A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200780015533.5
申请日：2007-05-22
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德
IPC: H01L21/301 , H01L21/268
CPC classification number: H01L21/268 , B23K26/0624 , B23K26/083 , B23K26/0876 , B23K26/40 , B23K2103/172 , B23K2103/42 , B23K2103/50 , H01L21/31105 , H01L21/31127 , H01L21/481
Abstract: 一激光输出，该激光输出含有至少一具有一长于1.1μm而短于5μm(最好约1.1μm)的波长并且具有一窄于100ps(最好是窄于10ps)的脉冲宽度的激光脉冲(32)，可供移除比如SRO或SiCOH的低k介电材料而不致损害到基材。利用一与一放大模块(16)并同运作的震荡器模块(12)以产生该激光输出。
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公开(公告)号：CN101981687B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980111743.3
申请日：2009-03-25
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德 , 凯利·J.·布鲁兰德 , 柯林特·R.·凡德吉亚森 , 马克·A.·昂瑞斯 , 布莱迪·尼尔森 , 史帝夫·史华伦杰
CPC classification number: H01S3/0007 , B23K26/042 , B23K26/0622 , B23K26/0853
Abstract: 以一激光处理一工件包含按第一脉冲重复频率产生激光脉冲。该第一脉冲重复频率提供一射束定位系统与一或更多协同射束位置补偿构件的协调的参考计时，借此相对于该工件校齐射束递送坐标。该方法也包含，按一低于该第一脉冲重复频率的第二脉冲重复频率对该等激光脉冲的一子集合进行选择性放大。该等包含在该子集合内的激光脉冲的选择是基于该第一脉冲重复频率以及自该射束定位系统所接收的位置数据。该方法进一步包含利用该一或更多协同射束位置补偿构件来调整该等射束递送坐标，借此将该等经放大激光脉冲导引至该工件上的选定目标。
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公开(公告)号：CN101496320B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200780028076.3
申请日：2007-07-25
Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司
Inventor： 布莱恩·W.·拜尔德 , 大卫·M.·海明威 , 彭晓源 , 任文升
CPC classification number: H01S3/2316 , B23K26/0622 , H01S3/0064 , H01S3/0085 , H01S3/06758 , H01S3/09408 , H01S3/0941 , H01S3/09415 , H01S3/10038 , H01S3/2333
Abstract: 本发明的激光系统实施例的优点为使用脉冲式光纤型激光源(12)输出，其时间脉冲轮廓可被程序化以采用一脉冲形状范围。脉冲式光纤激光具有尖峰功率限制，以避免发生非所希望的非线性效应；所以，该装置的激光输出功率接着会在一二极管泵激固态光功率放大器(DPSS-PA)(16)中被放大。该DPSS-PA会将一脉冲式光纤主振荡器功率放大器(14)所欲求的低尖峰功率输出放大至更高的尖峰功率位准处，并且从而还会有效地提高一指定脉冲重复频率处每道脉冲的可用能量。该脉冲式光纤主振荡器功率放大器与该二极管泵激固态功率放大器的结合便称为串接固态光放大器(10)。
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