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公开(公告)号:CN103958529A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201280058149.4
申请日:2012-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00 , C23C16/18 , C23C16/301 , Y02P20/582
Abstract: 本发明涉及一种用于制备具有通式R3Ga的三烷基镓化合物的方法。该方法是基于三氯化镓(GaCl3)(任选地在与部分烷基化的产物的一种混合物中)与一种RaAlClb(其中R=C1-C5-烷基,a=1、2或3,b=0、1或2并且a+b=3)类型的烷基铝化合物在作为辅助碱的至少两种碱金属卤化物(例如NaCl和KCl)存在下的反应。给予优选的是使用烷基铝倍半氯化物(R3Al2Cl3)或三烷基铝(R3Al)。将该反应混合物加热到范围从120℃至250℃的温度并且将形成的三烷基镓化合物经由一个分离器分离出,该分离器在比最具挥发性的部分烷基化产物的沸点低出超过30℃的温度下运行。在此实现了完全的烷基化并且将部分烷基化的产物再循环到该反应混合物之中。在一个另外的步骤中,可以将该反应混合物加热至最高350℃并且可以分离出剩余的完全烷基化的和部分烷基化的产物。该方法提供了高产率的三烷基镓化合物并且显示出高的镓利用率;这些产物被用作例如用于MOCVD方法的前体。
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公开(公告)号:CN105473599A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201480046319.6
申请日:2014-08-18
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00
Abstract: 本发明涉及一种用于以高产率并且以高选择性和纯度廉价并且对环境负责地制备二烷基铟氯化物的方法。根据本发明制备的二烷基铟氯化物也因为其高纯度和产率而特别适合于根据需要,以高产率和选择性并且以高纯度来制备含铟前体。可获得的这些含铟前体因为其高纯度而特别适合于金属-有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属-有机气相外延法(MOVPE)。根据本发明的新颖方法由于改善的工艺方案,尤其是一种快速的工艺操作而引起关注。通过对环境引起较低水平损害的廉价起始物质的控制性并且相当多的使用,该方法也适合于工业规模。
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公开(公告)号:CN103958528A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201280058143.7
申请日:2012-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00 , C23C16/18 , C23C16/301 , Y02P20/582
Abstract: 本发明涉及一种用于制备具有通式R3M(其中M=元素周期表(PTE)IIIA族金属,优选镓或铟,并且R=C1-C5烷基,优选甲基或乙基)的三烷基金属化合物的方法。该方法是基于在存在至少一种碱金属卤化物作为辅助碱下金属三氯化物(MeCl3)与烷基铝倍半氯化物(R3Al2Cl3)的反应。将反应混合物加热至高于120℃的一个温度并且经由一个分离器将该三烷基金属化合物从该反应混合物分离,其中部分烷基化的产物同时被再循环到该反应混合物之中。在一个另外的步骤中,将该反应混合物加热至最高350℃并且分离出剩余的烷基化的和部分烷基化的产物。以此方式获得的这些产物可以任选地被循环利用于该方法之中。该方法显示出高产率的三烷基金属化合物以及还有一个高金属利用率;这些产物被用作MOCVD方法的前体。
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公开(公告)号:CN108341834B
公开(公告)日:2021-05-25
申请号:CN201810250898.6
申请日:2012-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及一种用于制备具有通式R3M(其中M=元素周期表(PTE)IIIA族金属,优选镓或铟,并且R=C1‑C5烷基,优选甲基或乙基)的三烷基金属化合物的方法。该方法是基于在存在至少一种碱金属卤化物作为辅助碱下金属三氯化物(MeCl3)与烷基铝倍半氯化物(R3Al2Cl3)的反应。将反应混合物加热至高于120℃的一个温度并且经由一个分离器将该三烷基金属化合物从该反应混合物分离,其中部分烷基化的产物同时被再循环到该反应混合物之中。在一个另外的步骤中,将该反应混合物加热至最高350℃并且分离出剩余的烷基化的和部分烷基化的产物。以此方式获得的这些产物可以任选地被循环利用于该方法之中。该方法显示出高产率的三烷基金属化合物以及还有一个高金属利用率;这些产物被用作MOCVD方法的前体。
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公开(公告)号:CN109456345A
公开(公告)日:2019-03-12
申请号:CN201811396095.8
申请日:2012-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及一种用于制备具有通式R3Ga的三烷基镓化合物的方法。该方法是基于三氯化镓(GaCl3)(任选地在与部分烷基化的产物的一种混合物中)与一种RaAlClb(其中R=C1-C5-烷基,a=1、2或3,b=0、1或2并且a+b=3)类型的烷基铝化合物在作为辅助碱的至少两种碱金属卤化物(例如NaCl和KCl)存在下的反应。给予优选的是使用烷基铝倍半氯化物(R3Al2Cl3)或三烷基铝(R3Al)。将该反应混合物加热到范围从120℃至250℃的温度并且将形成的三烷基镓化合物经由一个分离器分离出,该分离器在比最具挥发性的部分烷基化产物的沸点低出超过30℃的温度下运行。在此实现了完全的烷基化并且将部分烷基化的产物再循环到该反应混合物之中。在一个另外的步骤中,可以将该反应混合物加热至最高350℃并且可以分离出剩余的完全烷基化的和部分烷基化的产物。该方法提供了高产率的三烷基镓化合物并且显示出高的镓利用率;这些产物被用作例如用于MOCVD方法的前体。
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公开(公告)号:CN105473599B
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201480046319.6
申请日:2014-08-18
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00
Abstract: 本发明涉及一种用于以高产率并且以高选择性和纯度廉价并且对环境负责地制备二烷基铟氯化物的方法。根据本发明制备的二烷基铟氯化物也因为其高纯度和产率而特别适合于根据需要,以高产率和选择性并且以高纯度来制备含铟前体。可获得的这些含铟前体因为其高纯度而特别适合于金属‑有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属‑有机气相外延法(MOVPE)。根据本发明的新颖方法由于改善的工艺方案,尤其是一种快速的工艺操作而引起关注。通过对环境引起较低水平损害的廉价起始物质的控制性并且相当多的使用,该方法也适合于工业规模。
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公开(公告)号:CN108341834A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201810250898.6
申请日:2012-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00 , C23C16/18 , C23C16/301 , Y02P20/582
Abstract: 本发明涉及一种用于制备具有通式R3M(其中M=元素周期表(PTE)IIIA族金属,优选镓或铟,并且R=C1-C5烷基,优选甲基或乙基)的三烷基金属化合物的方法。该方法是基于在存在至少一种碱金属卤化物作为辅助碱下金属三氯化物(MeCl3)与烷基铝倍半氯化物(R3Al2Cl3)的反应。将反应混合物加热至高于120℃的一个温度并且经由一个分离器将该三烷基金属化合物从该反应混合物分离,其中部分烷基化的产物同时被再循环到该反应混合物之中。在一个另外的步骤中,将该反应混合物加热至最高350℃并且分离出剩余的烷基化的和部分烷基化的产物。以此方式获得的这些产物可以任选地被循环利用于该方法之中。该方法显示出高产率的三烷基金属化合物以及还有一个高金属利用率;这些产物被用作MOCVD方法的前体。
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公开(公告)号:CN107021973A
公开(公告)日:2017-08-08
申请号:CN201710084832.X
申请日:2012-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00 , C23C16/18 , C23C16/301 , Y02P20/582 , C23C16/00
Abstract: 本发明涉及一种用于制备具有通式R3M(其中M=元素周期表(PTE)IIIA族金属,优选镓或铟,并且R=C1‑C5烷基,优选甲基或乙基)的三烷基金属化合物的方法。该方法是基于在存在至少一种碱金属卤化物作为辅助碱下金属三氯化物(MeCl3)与烷基铝倍半氯化物(R3Al2Cl3)的反应。将反应混合物加热至高于120℃的一个温度并且经由一个分离器将该三烷基金属化合物从该反应混合物分离,其中部分烷基化的产物同时被再循环到该反应混合物之中。在一个另外的步骤中,将该反应混合物加热至最高350℃并且分离出剩余的烷基化的和部分烷基化的产物。以此方式获得的这些产物可以任选地被循环利用于该方法之中。该方法显示出高产率的三烷基金属化合物以及还有一个高金属利用率;这些产物被用作MOCVD方法的前体。
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