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公开(公告)号:CN105473599A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201480046319.6
申请日:2014-08-18
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00
Abstract: 本发明涉及一种用于以高产率并且以高选择性和纯度廉价并且对环境负责地制备二烷基铟氯化物的方法。根据本发明制备的二烷基铟氯化物也因为其高纯度和产率而特别适合于根据需要,以高产率和选择性并且以高纯度来制备含铟前体。可获得的这些含铟前体因为其高纯度而特别适合于金属-有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属-有机气相外延法(MOVPE)。根据本发明的新颖方法由于改善的工艺方案,尤其是一种快速的工艺操作而引起关注。通过对环境引起较低水平损害的廉价起始物质的控制性并且相当多的使用,该方法也适合于工业规模。
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公开(公告)号:CN112888656A
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN201980066226.2
申请日:2019-09-05
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
IPC: C01B21/082 , C01B21/087 , C07F11/00 , C07C211/65 , C07F7/00 , C07F9/00 , C23C16/18 , C23C16/30 , H01L21/02 , C07F5/06 , C07F7/28 , C07F9/06 , C07F9/68 , C07F9/90 , C07F9/94
Abstract: 本发明涉及一种用于制备二烷基酰氨基元素化合物的方法。具体地讲,本发明涉及一种用于制备E(NRR')X型二烷基酰氨基元素化合物的方法,其中首先使M[AlH4]与HNRR'反应以形成M[Al(NRR')4]和氢,然后使形成的M[Al(NRR')4]与EXx反应以便形成E(NRR')x和M[AlX4],其中M=Li、Na或K,R=CnH2n+1,其中n=1至20,并且其独立地R'=CnH2n+1,其中n=1至20,E为元素周期表第3至15族中的元素,X=F、Cl、Br或I,并且x=2、3、4或5。
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公开(公告)号:CN110300732A
公开(公告)日:2019-10-01
申请号:CN201780086586.X
申请日:2017-11-23
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及用于制备金属羰基化合物的方法,其中采用包含以下组分的反应混合物的反应在反应器中进行:(a)式(MeRx)w的至少一种金属羧酸盐,其中Me是过渡金属,R是具有6至12个碳原子的一元羧酸盐,x=1、2、3或4,并且w=1、2或3,(b)一氧化碳,(c)具有4至7个碳原子的脂肪醇—优选地丁醇—以及(d)溶剂,其中反应器中的平均保压时间小于60分钟。
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公开(公告)号:CN105473599B
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201480046319.6
申请日:2014-08-18
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
CPC classification number: C07F5/00
Abstract: 本发明涉及一种用于以高产率并且以高选择性和纯度廉价并且对环境负责地制备二烷基铟氯化物的方法。根据本发明制备的二烷基铟氯化物也因为其高纯度和产率而特别适合于根据需要,以高产率和选择性并且以高纯度来制备含铟前体。可获得的这些含铟前体因为其高纯度而特别适合于金属‑有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属‑有机气相外延法(MOVPE)。根据本发明的新颖方法由于改善的工艺方案,尤其是一种快速的工艺操作而引起关注。通过对环境引起较低水平损害的廉价起始物质的控制性并且相当多的使用,该方法也适合于工业规模。
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公开(公告)号:CN116282123A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310280904.3
申请日:2017-11-23
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及用于制备金属羰基化合物的方法,其中采用包含以下组分的反应混合物的反应在反应器中进行:(a)式(MeRx)w的至少一种金属羧酸盐,其中Me是过渡金属,R是具有6至12个碳原子的一元羧酸盐,x=1、2、3或4,并且w=1、2或3,(b)一氧化碳,(c)具有4至7个碳原子的脂肪醇—优选地丁醇—以及(d)溶剂,其中反应器中的平均保压时间小于60分钟。
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公开(公告)号:CN112805290A
公开(公告)日:2021-05-14
申请号:CN201980065963.0
申请日:2019-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
IPC: C07F11/00 , C23C16/34 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及用于从[W(NtBu)2(NHtBu)2]开始制备根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物的两阶段合成。本发明还涉及根据受权利要求书保护的方法可获得的根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的化合物、根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的化合物([W(NtBu)2(NMe2)2]和[W(NtBu)2(NEtMe)2]除外)、化合物[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的用途以及在表面上具有钨层或含钨层的衬底。通过所述方法,[W(NtBu)2(NRARB)2](I)型的限定的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物可以容易地、经济地且可再现地以高纯度和良好收率制备。由于其高纯度,所述化合物适于制备具有钨层或含钨层的高质量衬底。
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