用于生产烷基铟化合物的方法及其用途

    公开(公告)号:CN105473598B

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201480046316.2

    申请日:2014-08-18

    CPC classification number: C07F5/00

    Abstract: 本发明涉及一种用于以高产率并且以高选择性和纯度成本效益地并且环境友好地生产烷基铟倍半氯化物的方法。根据本发明生产的烷基铟倍半氯化物也因为其高纯度和产率而特别适合于根据需要,以高产率和选择性并且以高纯度来生产含铟前体。可生产的这些含铟前体因为其高纯度而特别适合于金属‑有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属‑有机气相外延法(MOVPE)。根据本发明的新颖方法特征是改善的工艺方案,尤其是一种快速的工艺操作。通过成本效益的并且具有低环境影响的起始物质的针对性的并且相当多的使用,该方法也适合于工业规模。

    用于生产烷基铟化合物的方法及其用途

    公开(公告)号:CN105473598A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201480046316.2

    申请日:2014-08-18

    CPC classification number: C07F5/00

    Abstract: 本发明涉及一种用于以高产率并且以高选择性和纯度成本效益地并且环境友好地生产烷基铟倍半氯化物的方法。根据本发明生产的烷基铟倍半氯化物也因为其高纯度和产率而特别适合于根据需要,以高产率和选择性并且以高纯度来生产含铟前体。可生产的这些含铟前体因为其高纯度而特别适合于金属-有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属-有机气相外延法(MOVPE)。根据本发明的新颖方法特征是改善的工艺方案,尤其是一种快速的工艺操作。通过成本效益的并且具有低环境影响的起始物质的针对性的并且相当多的使用,该方法也适合于工业规模。

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