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公开(公告)号：CN101308328B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200810099591.7
申请日：2008-05-15
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0397 , C08F8/12 , C08F8/14 , C08F12/22 , C08F212/14 , C08F212/32 , C08F220/18 , C08F2220/1891 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元；(ii)由式(II)表示的聚合单元；和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元。
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公开(公告)号：CN101130510A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710142634.0
申请日：2007-08-20
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： C07C321/12 , C07C323/10 , C07C309/17 , G03F7/039
CPC分类号： C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D313/06 , C07D333/46 , C07D335/00 , G03F7/0045 , G03F7/0397
摘要： 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3－C30二价基团，并且在所述C3－C30二价基团中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代；Y表示可以被选自C1－C6烷氧基、C1－C4全氟烷基、C1－C6羟烷基、羟基和氰基中的至少一个基团取代的C3－C30环烃基，并且在所述C3－C30环烃基中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN101192006B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200710194002.9
申请日：2007-11-26
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0045 , G03F7/0392 , Y10S430/106
摘要： 本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂可以通过酚醛清漆树脂、聚(羟基苯乙烯)和具有至少两个乙烯基醚结构的化合物反应得到。
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公开(公告)号：CN101308328A
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200810099591.7
申请日：2008-05-15
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0397 , C08F8/12 , C08F8/14 , C08F12/22 , C08F212/14 , C08F212/32 , C08F220/18 , C08F2220/1891 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元；(ii)由式(II)表示的聚合单元；和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元。
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公开(公告)号：CN101192006A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200710194002.9
申请日：2007-11-26
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0045 , G03F7/0392 , Y10S430/106
摘要： 本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂可以通过酚醛清漆树脂、聚(羟基苯乙烯)和具有至少两个乙烯基醚结构的化合物反应得到。
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