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公开(公告)号：CN101093814A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710110053.9
申请日：2007-06-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/683 , B23Q1/30 , G02F1/1333 , G12B5/00
Abstract: 本发明提供一种平台装置，可以确保平台位置检测精度。平台装置(10)的Y平台(18)具有：在X方向横架在引导部(14A、14B)上方的横架部(30)和与横架部(30)的两端结合且沿引导部(14A、14B)移动的一对滑块(32A、32B)。滑块具有与引导部(14A、14B)的左右侧面相对的侧衬垫(34、35)和在Z方向上正对的上衬垫(36)。在引导部(14)的左右侧面上，设有一对直线检测元件(22A、22B)。第1直线检测元件(22A)测定相对于引导部(14A)的左侧面的Y平台(18)的移动位置。第2直线检测元件(22B)测定相对于引导部(14A)的右侧面的Y平台(18)的移动位置。
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公开(公告)号：CN1533864A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410031337.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16－1～18－1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16－2～18－2)构成。在上述支承构件侧固定着支座(104～106)，以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态保持上述球和上述夹紧轴的组合，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部弹向下方。
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公开(公告)号：CN101093813A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710110052.4
申请日：2007-06-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/683 , B23Q1/30 , G02F1/1333 , G12B5/00
Abstract: 本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台，对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置(10)具有：固定在地面上的架台(12)；被支持在架台(12)上的一对导向部(14A、14B)；横架在一对导向部(14A、14B)之间，两端被支持在架台(12)上的多个梁(16)；Y载台(18)，沿一对导向部(14A、14B)在Y方向移动；以及一对线性马达(20A、20B)，沿Y方向驱动Y载台(18)的两端部。并且，在梁(16)上载放有载放平板状的工件的吸附板。在工件的面积被大型化而延长Y载台(18)的移动距离的场合，可通过延长导向部(14A、14B)来对应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100515659C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200410030272.2
申请日：2004-03-23
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过尽可能减少静压轴承这样的高价部件，可以获得高停止精度的X-Y载物台装置。其包括在底座(100)以沿一轴方向延伸的方式固定的两个导轨(110、120)，以沿着和前述一轴的方向成直角方向延伸的方式装配到这些导轨上、并且能够沿着这些导轨在前述一轴向方向移动的Y滑子，能够沿着Y滑子在与前述一轴方向成直角方向移动的装配到Y滑子上的X滑子(140)。Y滑子分别经由滚动轴承(111、121)被支承在两个导轨上，能够离开底座表面移动，X滑子经由加装在Y滑子之间的滚动轴承移动，同时，通过在与底座表面对向的下面设置多个静压轴承(141～143)，能够在从底座表面上浮起的状态下移动。此外，借助制动机构(190)提高停止精度。
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公开(公告)号：CN1274462C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200410031337.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16-1～18-1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16-2～18-2)构成。以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态在上述支承构件侧固定用于保持上述球和上述夹紧轴的组合的支座(104～106)，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部向下方推压。
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公开(公告)号：CN1534688A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410030272.2
申请日：2004-03-23
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提供一种通过尽可能减少静压轴承这样的高价部件，可以获得高停止精度的X－Y载物台装置。其包括在底座(100)以沿一轴方向延伸的方式固定的两个导轨(110、120)，以沿着和前述一轴的方向成直角方向延伸的方式装配到这些导轨上、并且能够沿着这些导轨在前述一轴向方向移动的Y滑子，能够沿着Y滑子在与前述一轴方向成直角方向移动的装配到Y滑子上的X滑子(140)。Y滑子分别经由滚动轴承(111、121)被支承在两个导轨上，能够离开底座表面移动，X滑子经由加装在Y滑子之间的滚动轴承移动，同时，通过在与底座表面对向的下面设置多个静压轴承(141～143)，能够在从底座表面上浮起的状态下移动。此外，借助制动机构(190)提高停止精度。
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公开(公告)号：CN100521143C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200710110052.4
申请日：2007-06-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/683 , B23Q1/30 , G02F1/1333 , G12B5/00
Abstract: 本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台，对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置(10)具有：固定在地面上的架台(12)；被支持在架台(12)上的一对导向部(14A、14B)；横架在一对导向部(14A、14B)之间，两端被支持在架台(12)上的多个梁(16)；Y载台(18)，沿一对导向部(14A、14B)在Y方向移动；以及一对线性马达(20A、20B)，沿Y方向驱动Y载台(18)的两端部。并且，在梁(16)上载放有载放平板状的工件的吸附板。在工件的面积被大型化而延长Y载台(18)的移动距离的场合，可通过延长导向部(14A、14B)来对应。
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公开(公告)号：CN101090086A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200710111812.3
申请日：2007-06-15
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , B23Q1/30 , B05B13/02
Abstract: 本发明提供一种平台用的反作用力处理装置，使直线电动机的反作用力不通过地面传播到平台。平台用反作用力处理装置(100)具有第一地面下结构体(110)和第二地面下结构体(120)，第一地面下结构体(110)支撑平台装置(10)的架台(12)，第二地面下结构体(120)支撑直线电动机支撑部(46)。第一地面下结构体和第二地面下结构体被收纳到地面下凹部(140)内，该地面下凹部形成于地面(130)的平台装置所设置的平台设置部(132)的下方。在此地面下凹部(140)内形成非接触空间(150)，使第一地面下结构体和第二地面下结构体分开。
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