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公开(公告)号：CN101026013B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200710005196.3
申请日：2007-02-15
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 内海和晴
Abstract: 本发明以与工件的大型化相对应地使吸着盘大型化，维持平面精度并使吸着盘与载物台一起顺畅地移动为课题。载物台装置(10)具有：石平台(20)，在石平台的平面上移动的载物台(30)，载置在载物台上、吸着平板状工件的吸着盘(40)，以及使载物台沿Y方向移动的一对Y线性电动机(50)。吸着盘具有四边形的吸着面(42)，吸着面的X、Y方向的4条边的尺寸形成为比X载物台(38)的尺寸大，并且X方向的宽度尺寸形成为比石平台的尺寸小。而且具有从吸着盘的下面向直向下方向延伸的4根支柱(60)、以及设置在每根支柱的下端、在空气压力的作用下浮起、能够在石平台的平面上移动的空气垫(70)。吸着盘由支柱和空气垫直接支持，在石平台上移动。
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公开(公告)号：CN1871562B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200480031070.8
申请日：2004-10-15
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G05B19/404
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70716 , G05B2219/49193
Abstract: 一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。
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公开(公告)号：CN101026013A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710005196.3
申请日：2007-02-15
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 内海和晴
Abstract: 本发明以与工件的大型化相对应地使吸着盘大型化，维持平面精度并使吸着盘与载物台一起顺畅地移动为课题。载物台装置(10)具有：石平台(20)，在石平台的平面上移动的载物台(30)，载置在载物台上、吸着平板状工件的吸着盘(40)，以及使载物台沿Y方向移动的一对Y线性电动机(50)。吸着盘具有四边形的吸着面(42)，吸着面的X、Y方向的4条边的尺寸形成为比X载物台(38)的尺寸大，并且X方向的宽度尺寸形成为比石平台的尺寸小。而且具有从吸着盘的下面向直向下方向延伸的4根支柱(60)、以及设置在每根支柱的下端、在空气压力的作用下浮起、能够在石平台的平面上移动的空气垫(70)。吸着盘由支柱和空气垫直接支持，在石平台上移动。
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公开(公告)号：CN100515659C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200410030272.2
申请日：2004-03-23
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过尽可能减少静压轴承这样的高价部件，可以获得高停止精度的X-Y载物台装置。其包括在底座(100)以沿一轴方向延伸的方式固定的两个导轨(110、120)，以沿着和前述一轴的方向成直角方向延伸的方式装配到这些导轨上、并且能够沿着这些导轨在前述一轴向方向移动的Y滑子，能够沿着Y滑子在与前述一轴方向成直角方向移动的装配到Y滑子上的X滑子(140)。Y滑子分别经由滚动轴承(111、121)被支承在两个导轨上，能够离开底座表面移动，X滑子经由加装在Y滑子之间的滚动轴承移动，同时，通过在与底座表面对向的下面设置多个静压轴承(141～143)，能够在从底座表面上浮起的状态下移动。此外，借助制动机构(190)提高停止精度。
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公开(公告)号：CN1871562A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200480031070.8
申请日：2004-10-15
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G05B19/404
CPC classification number: G03F7/70725 , G03F7/70716 , G05B2219/49193
Abstract: 一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1274462C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200410031337.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16-1～18-1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16-2～18-2)构成。以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态在上述支承构件侧固定用于保持上述球和上述夹紧轴的组合的支座(104～106)，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部向下方推压。
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公开(公告)号：CN1534688A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410030272.2
申请日：2004-03-23
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明提供一种通过尽可能减少静压轴承这样的高价部件，可以获得高停止精度的X－Y载物台装置。其包括在底座(100)以沿一轴方向延伸的方式固定的两个导轨(110、120)，以沿着和前述一轴的方向成直角方向延伸的方式装配到这些导轨上、并且能够沿着这些导轨在前述一轴向方向移动的Y滑子，能够沿着Y滑子在与前述一轴方向成直角方向移动的装配到Y滑子上的X滑子(140)。Y滑子分别经由滚动轴承(111、121)被支承在两个导轨上，能够离开底座表面移动，X滑子经由加装在Y滑子之间的滚动轴承移动，同时，通过在与底座表面对向的下面设置多个静压轴承(141～143)，能够在从底座表面上浮起的状态下移动。此外，借助制动机构(190)提高停止精度。
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公开(公告)号：CN103718660B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201280035355.3
申请日：2012-07-06
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: H05K3/28 , B05D1/26 , H05K2203/0126
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
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公开(公告)号：CN103718660A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280035355.3
申请日：2012-07-06
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: H05K3/28 , B05D1/26 , H05K2203/0126
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。
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公开(公告)号：CN1533864A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410031337.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16－1～18－1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16－2～18－2)构成。在上述支承构件侧固定着支座(104～106)，以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态保持上述球和上述夹紧轴的组合，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部弹向下方。
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