公开(公告)号：CN1871562A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200480031070.8

申请日：2004-10-15

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 加藤达朗 ,  内海和晴 ,  村山洋 ,  真下秀彦

IPC: G05B19/404

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70716 ,  G05B2219/49193

Abstract: 一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。

公开(公告)号：CN1871562B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200480031070.8

申请日：2004-10-15

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 加藤达朗 ,  内海和晴 ,  村山洋 ,  真下秀彦

IPC: G05B19/404

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70716 ,  G05B2219/49193

Abstract: 一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。