公开(公告)号：CN1871562B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200480031070.8

申请日：2004-10-15

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 加藤达朗 ,  内海和晴 ,  村山洋 ,  真下秀彦

IPC: G05B19/404

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70716 ,  G05B2219/49193

Abstract: 一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。

公开(公告)号：CN101388356A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200810171486.X

申请日：2008-09-12

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中岛龙太 ,  真下秀彦

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/709 ,  G03F7/70725 ,  G05B19/232 ,  G05B19/404 ,  G05B2219/37517 ,  G05B2219/41117 ,  G05B2219/41148 ,  H01L21/682

Abstract: 本发明提供一种载物台装置。减弱支撑于在某个一水平方向可移动的第一工作台上的第二工作台的振动。该载物台装置具备：XY工作台，在X方向可移动；Z轴工作台，由支撑部支撑在XY工作台上的Z轴；一对标尺，在X方向互相分开配置，检查Z轴工作台的Z方向速度的一对；一对电动机，在X方向互相分开配置，在铅直方向驱动在X方向互相配置的Z轴工作台的一对电动机；以及控制器，和根据检测出的Z方向速度，控制电动机的驱动；通过利用由标尺检测Z方向速度，求出Z轴工作台的俯仰振动特性，驱动电动机，使Z轴工作台在俯仰方向转动，以使俯仰振动相互抵销。

公开(公告)号：CN101388356B

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200810171486.X

申请日：2008-09-12

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中岛龙太 ,  真下秀彦

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/709 ,  G03F7/70725 ,  G05B19/232 ,  G05B19/404 ,  G05B2219/37517 ,  G05B2219/41117 ,  G05B2219/41148 ,  H01L21/682

Abstract: 本发明提供一种载物台装置。减弱支撑于在某个一水平方向可移动的第一工作台上的第二工作台的振动。该载物台装置具备：XY工作台，在X方向可移动；Z轴工作台，由支撑部支撑在XY工作台上的Z轴；一对标尺，在X方向互相分开配置，检查Z轴工作台的Z方向速度的一对；一对电动机，在X方向互相分开配置，在铅直方向驱动在X方向互相配置的Z轴工作台的一对电动机；以及控制器，和根据检测出的Z方向速度，控制电动机的驱动；通过利用由标尺检测Z方向速度，求出Z轴工作台的俯仰振动特性，驱动电动机，使Z轴工作台在俯仰方向转动，以使俯仰振动相互抵销。

公开(公告)号：CN1871562A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200480031070.8

申请日：2004-10-15

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 加藤达朗 ,  内海和晴 ,  村山洋 ,  真下秀彦

IPC: G05B19/404

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70716 ,  G05B2219/49193

Abstract: 一种载物台装置，具备：导引部件(2、3)，用来在基盘(1)上对2个移动体(4、5)分别进行导引；横梁(6)，与导引部件(2、3)正交地横架在2个移动体(4、5)之间，与2个移动体(4、5)一起移动；分别使2个移动体(4、5)移动，使横梁(6)相对与一轴方向垂直的偏转旋转轴旋转。