公开(公告)号：CN114763848B

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202210025313.7

申请日：2022-01-11

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 渡边真理乃 ,  近藤章 ,  滨田慎哉 ,  吉田达矢

IPC: F16K11/07 ,  F16K27/04 ,  F16K31/06 ,  F16K37/00 ,  F16C32/06

Abstract: 本发明提供一种能够提高由滑阀式流量控制阀供给或排出气体的控制对象的可控性的技术。控制装置控制滑阀式流量控制阀向控制对象供给气体或从控制对象排出气体时的流量从而将该控制对象的控制量控制至目标值。控制装置具备：控制器，根据目标值生成滑阀式流量控制阀的阀芯位置指令；及非线性补偿器，对所生成的阀芯位置指令适用用于线性补偿滑阀式流量控制阀的非线性的流量特性的校正，并将其输出至滑阀式流量控制阀。

公开(公告)号：CN114763803A

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202210022379.0

申请日：2022-01-10

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 渡边真理乃 ,  近藤章 ,  滨田慎哉

IPC: F15B15/00 ,  F15B19/00 ,  F15B13/02

Abstract: 本发明提供一种能够安全地驱动驱动对象的流体致动器。以空气为工作流体的气动致动器具备：X轴压力传感器，测定沿X方向驱动驱动对象的沿一个驱动轴的空气的压力(PX+、PX‑)；Y轴压力传感器，测定沿Y方向驱动驱动对象的沿两个驱动轴的空气的压力(PY1+、PY1‑、PY2+、PY2‑)；及加速度检测部，根据所测定的空气的压力(PX+、PX‑、PY1+、PY1‑、PY2+、PY2‑)来检测出在驱动对象(W)上产生的平移加速度及旋转加速度。

公开(公告)号：CN114763848A

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202210025313.7

申请日：2022-01-11

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 渡边真理乃 ,  近藤章 ,  滨田慎哉 ,  吉田达矢

IPC: F16K11/07 ,  F16K27/04 ,  F16K31/06 ,  F16K37/00 ,  F16C32/06

Abstract: 本发明提供一种能够提高由滑阀式流量控制阀供给或排出气体的控制对象的可控性的技术。控制装置控制滑阀式流量控制阀向控制对象供给气体或从控制对象排出气体时的流量从而将该控制对象的控制量控制至目标值。控制装置具备：控制器，根据目标值生成滑阀式流量控制阀的阀芯位置指令；及非线性补偿器，对所生成的阀芯位置指令适用用于线性补偿滑阀式流量控制阀的非线性的流量特性的校正，并将其输出至滑阀式流量控制阀。

公开(公告)号：CN113467531A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202110302871.9

申请日：2021-03-22

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 吉田达矢 ,  滨田慎哉 ,  近藤章 ,  渡边真理乃

IPC: G05D16/20

Abstract: 本发明提出一种利用气动致动器使工件移动的载物台装置专用的安全停止机构，并提供具备这种安全停止机构的载物台装置。本发明的载物台装置具备：引导件；滑块；正侧伺服阀，将流体供给至腔室(152)或从该腔室内排出流体来控制该腔室内的压力；及负侧伺服阀，将流体供给至腔室(154)或从该腔室内排出流体来控制该腔室内的压力，一组截止阀(170P、170N)分别设置于将流体供给至腔室(152)的供给流路上及将流体供给至腔室(154)的供给流路上、或分别设置于从腔室(152)排出流体的排出流路上及从腔室(154)排出流体的排出流路上，截止阀(170P)与正侧伺服阀串联连接，截止阀(170N)与负侧伺服阀串联连接。