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公开(公告)号：CN113471133B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202110345848.8
申请日：2021-03-31
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种能够实现载物台装置的高精度化的技术。载物台装置具备：第一移动体；X轴驱动部，其构成为能够沿Y轴方向移动并且驱动第一移动体沿X轴方向移动；第二移动体，其构成为能够沿Y轴方向移动并且引导第一移动体沿X轴方向移动；Y轴驱动部，其驱动X轴驱动部或第二移动体沿Y轴方向移动；以及限制单元，其并不限制X轴驱动部与第二移动体之间的X轴方向上的相对移动，而是在使两者彼此非接触的状态下限制两者之间的Y轴方向上的相对移动。
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公开(公告)号：CN114623259B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202111421560.0
申请日：2021-11-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种可控性高的滑阀式流量控制阀。滑阀式流量控制阀(100)具备：套管(104)，形成有供给口(130)、控制口(132)及排气口(134)；及阀芯(106)，以能够在套管(104)内沿着轴向移动的方式容纳于套管(104)内且具有阀体(120)，该滑阀式流量控制阀(100)通过阀体(120)来控制控制口(132)的开口面积从而控制流量。内部泄漏量的最大值与最小值之差为规定的阈值以下，其中，该内部泄漏量为在切断控制口(132)的状态下从供给口(130)供给的气体从排气口(134)排出的流量。
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公开(公告)号：CN113074157B
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202011598891.7
申请日：2020-12-29
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够使杆沿轴向移动且沿周向旋转并且容易组装的致动器。致动器(100)具备：缸体(102)；活塞(104)，其可滑动地容纳在缸体(102)中；杆(106)，其从活塞(104)延伸并向缸体(102)的外部突出；旋转驱动源，其与杆(108)，其将杆(106)支承为旋转自如。支承部(108)构成为，允许杆(106)的中心轴相对于该支承部(108)的中心轴偏移。(106)同轴并且驱动所述杆旋转；以及支承部
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公开(公告)号：CN116707194A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310173420.9
申请日：2023-02-28
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种适合在真空环境下使用的电枢及线性马达。线性马达的电枢(2)具备：多个线圈(4)，根据流过的电流而产生动力；及被膜(41)，从外侧包覆多个线圈(4)，并且使该多个线圈(4)之间彼此绝缘的同时抑制向外侧的真空环境的漏气。被膜(41)包含涂覆于多个线圈(4)的表面的玻璃或陶瓷等无机材料和/或涂覆于多个线圈(4)的表面的氟树脂或聚酰亚胺等有机材料。
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公开(公告)号：CN110304484A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910048464.2
申请日：2019-01-18
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: B65H23/26
Abstract: 本发明提供一种抑制搬运系统中的蜿蜒的搬运系统及张力调节单元。张力调节单元(310)包括张力调节辊(312)，张力调节辊(312)的旋转轴(314)能够平移，并且张力调节辊(312)的旋转轴(314)能够摆动。根据作为目标的搬运状态与实际的搬运状态的偏离，控制张力调节辊(312)的摆动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117157743A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202280026794.1
申请日：2022-03-31
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 吉田达矢
IPC: H01L21/68
Abstract: 工作台装置(100)具备：第1滑块(14)；第1引导件(12)，引导第1滑块(14)沿第1方向移动；第2滑块(18)，包括在第1方向上彼此分开并从下方支承第1引导件(12)的两个滑块部(32、34)；及第2引导件(16)，引导第2滑块(18)的移动。
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公开(公告)号：CN113074157A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202011598891.7
申请日：2020-12-29
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够使杆沿轴向移动且沿周向旋转并且容易组装的致动器。致动器(100)具备：缸体(102)；活塞(104)，其可滑动地容纳在缸体(102)中；杆(106)，其从活塞(104)延伸并向缸体(102)的外部突出；旋转驱动源，其与杆(106)同轴并且驱动所述杆旋转；以及支承部(108)，其将杆(106)支承为旋转自如。支承部(108)构成为，允许杆(106)的中心轴相对于该支承部(108)的中心轴偏移。
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公开(公告)号：CN101459104B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200810095603.9
申请日：2008-04-29
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/687 , G02F1/13 , G02F1/1333 , B23Q1/25 , B23Q1/01
Abstract: 本发明提供一种能够在对基台下的构造提高设计的自由度的同时抑制大型化的台装置。一种具备基台(10)、和在基台(10)上可沿一轴方向移动地设置的台架部(30)的台装置(1)，具备：伸出片(52)，设置为使其向基台(1)的侧方伸出，设置有沿着一轴方向延伸、引导台架部(30)的移动的导轨(40)；和线缆托架(60)，设在基台(10)的侧方、伸出片(52)的下方，追随台架部(30)的移动而变形，汇集并配线控制台架部(30)的线缆。
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公开(公告)号：CN101459103A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200810087089.4
申请日：2008-04-11
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: H01L21/687 , B23Q1/25
Abstract: 本发明提供一种通过提高基台的刚性、能够不降低生产能力而在基台上正确地处理基板的台装置。台装置(1)具备基台(10)、在基台(10)上可移动地设置的台架部(30)、和支撑基台(10)的除振单元(50)。基台(10)具有将罐部件以框状连结而构建的上部框架(12)、将罐部件以框状连结而构建、与上部框架(12)上下离开而设置的下部框架(22)、和将上部框架(12)与下部框架(22)连结的连结部件(18)。
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公开(公告)号：CN114763848B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202210025313.7
申请日：2022-01-11
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高由滑阀式流量控制阀供给或排出气体的控制对象的可控性的技术。控制装置控制滑阀式流量控制阀向控制对象供给气体或从控制对象排出气体时的流量从而将该控制对象的控制量控制至目标值。控制装置具备：控制器，根据目标值生成滑阀式流量控制阀的阀芯位置指令；及非线性补偿器，对所生成的阀芯位置指令适用用于线性补偿滑阀式流量控制阀的非线性的流量特性的校正，并将其输出至滑阀式流量控制阀。
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