公开(公告)号：CN112786419B

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202011143127.0

申请日：2020-10-23

Applicant: 住友重机械离子科技株式会社

Inventor： D·E·波特金斯 ,  P·T·雅克勒

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 一种离子注入装置及射束分析仪，能够精确地测定离子束的射束电流分布。射束分析仪(50)具备：孔隙阵列，具有第1孔隙(111)和第2孔隙(112)；杯电极阵列(120)，相对于孔隙阵列固定地配置；及多个磁铁(140)。从离子束的行进方向观察时，第2孔隙具有与第1孔隙不同的形状。杯电极阵列具备：第1杯电极(121)，配置成第1射束部分(IB1)从第1孔隙通过第1空腔(131)入射；及第2杯电极(122)，配置成第2射束部分(IB2)从第2孔隙通过第2空腔(132)入射。多个磁铁沿着与离子束的行进方向正交的平面的面内方向对第1空腔和第2空腔施加磁场。

公开(公告)号：CN112786419A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN202011143127.0

申请日：2020-10-23

Applicant: 住友重机械离子科技株式会社

Inventor： D·E·波特金斯 ,  P·T·雅克勒

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 一种离子注入装置及射束分析仪，能够精确地测定离子束的射束电流分布。射束分析仪(50)具备：孔隙阵列，具有第1孔隙(111)和第2孔隙(112)；杯电极阵列(120)，相对于孔隙阵列固定地配置；及多个磁铁(140)。从离子束的行进方向观察时，第2孔隙具有与第1孔隙不同的形状。杯电极阵列具备：第1杯电极(121)，配置成第1射束部分(IB1)从第1孔隙通过第1空腔(131)入射；及第2杯电极(122)，配置成第2射束部分(IB2)从第2孔隙通过第2空腔(132)入射。多个磁铁沿着与离子束的行进方向正交的平面的面内方向对第1空腔和第2空腔施加磁场。