一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉

    公开(公告)号:CN206467288U

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:CN201621404270.X

    申请日:2016-12-20

    Abstract: 一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉,它涉及一种管式炉,具体涉及一种带有组合模具的充气流量可调的管式炉。本实用新型为了解决现有管式炉进行化学气相沉积反应时,其内部可用空间较小的问题。本实用新型包括炉壳、耐热绝缘材料层、第一电极、第二电极、热电偶和多个电热棒,耐热绝缘材料层设置在炉壳内,多个电热棒沿圆周方向均布插装在耐热绝缘材料层,第一电极、第二电极、热电偶均与电热棒连接,本实用新型还包括前模具、后模具、前挡板和后挡板,前模具和后模具由前至后并排设置在耐热绝缘层内,前挡板设置在前模具的外侧,后挡板设置在后模具的外侧,前模具和后模具上均布设有多个第一通孔和第二通孔。本实用新型属于化工领域。

Patent Agency Ranking