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公开(公告)号：CN113785308A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202080028674.6
申请日：2020-03-26
IPC分类号： G06K19/077 , G06F12/00
摘要： 提供一种记录设备，用于将数据记录到存储卡，其特征在于，所述记录设备包括：控制部件，用于向所述存储卡重复地发送包括指定记录对象数据和记录目的地的信息的数据记录指令，所述存储卡将所述存储卡中的数据记录所用的存储器作为多个记录区域进行管理，并且能够以记录区域为单位执行具有保证的最低记录速度的数据记录，其中，所述控制部件在发送用于将第一记录区域的开头部分指定为记录目的地的第一数据记录指令时，通过将速度保证请求包括在所述第一数据记录指令中，来请求所述存储卡针对所述第一记录区域执行具有保证的最低记录速度的数据记录。
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公开(公告)号：CN112666175B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202011104108.7
申请日：2020-10-15
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明公开了异物检查装置和异物检查方法。一种装置检查具有检查区域和布置在检查区域外侧的非检查区域的物体上的异物的存在/不存在。该装置包括：传感器，用于照明物体并输出通过检测来自包括检查区域的区域的光而获取的结果作为图像；以及处理器，用于基于通过从传感器输出的图像中排除作为非检查区域的图像的非检查区域图像而获取的检查区域图像来检测异物。非检查区域图像包括通过来自被检查物体的非检查区域的预定部分的光而生成的第一部分和其像素值从第一部分的像素值起连续的第二部分，并且处理器基于第二部分的像素值从第一部分的像素值起连续的事实来指定第二部分。
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公开(公告)号：CN112666175A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011104108.7
申请日：2020-10-15
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明公开了异物检查装置和异物检查方法。一种装置检查具有检查区域和布置在检查区域外侧的非检查区域的物体上的异物的存在/不存在。该装置包括：传感器，用于照明物体并输出通过检测来自包括检查区域的区域的光而获取的结果作为图像；以及处理器，用于基于通过从传感器输出的图像中排除作为非检查区域的图像的非检查区域图像而获取的检查区域图像来检测异物。非检查区域图像包括通过来自被检查物体的非检查区域的预定部分的光而生成的第一部分和其像素值从第一部分的像素值起连续的第二部分，并且处理器基于第二部分的像素值从第一部分的像素值起连续的事实来指定第二部分。
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公开(公告)号：CN116008298A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211269716.2
申请日：2022-10-18
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明涉及异物检查方法、异物检查装置以及物品的制造方法。一种异物检查方法，进行在载置台上配置物体并一边使所述载置台以及对所述物体投射检查光的投光部中的至少一方驱动一边检测所述物体的检查区域上有无异物的异物检查，包括：第1检查工序，检查所述检查区域中的异物；清洁工序，对所述检查区域进行清洁；以及第2检查工序，检查在清洁工序中清洁后的所述检查区域中的异物，在第2检查工序中，在所述检查区域中的在第1检查工序中检测到异物的第1区域中，所述载置台和所述投光部的相对速度被设定为第1速度，在所述检查区域中的在第1检查工序中未检测到异物的第2区域中，所述相对速度被设定为比所述第1速度快的第2速度。
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公开(公告)号：CN112904677A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202011383185.0
申请日：2020-12-01
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本公开涉及搬送装置、曝光装置以及物品的制造方法。为了提供能够削减追踪处理来提高吞吐量的搬送装置，本发明的搬送装置具备：搬送部，将搬送物搬送至目标位置；测量部，测量搬送部的位置；存储部，存储将搬送物搬送至目标位置时的目标位置与搬送部的位置之间的位置偏移；以及控制部，根据存储于存储部的位置偏移的历史数据计算偏置驱动量，并将偏置驱动量与基准驱动量相加，从而设定搬送部的直至目标位置的驱动量，其特征在于，控制部根据搬送部的直至目标位置的移动距离、移动方向及移动速度、以及搬送装置内的温度、搬送装置内的振动的大小、搬送物的质量、以及搬送装置的运行时间中的至少一个，对历史数据进行运算处理，从而计算偏置驱动量。
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