公开(公告)号：CN104137224A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201380010484.1

申请日：2013-02-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中川一樹 ,  江本圭司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29D2009/00 ,  B29K2101/00 ,  B29L2009/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 提供一种压印装置，该压印装置具有：施加单元；包含辅助板的基板保持单元；包含当模子按压向压射区域施加的未固化树脂时伴随从施加单元的施加位置到进行按压的按压位置的通过基板保持单元的驱动的压射区域的移动向模子与基板之间的间隙空间供给气体的多个供给出口的气体供给单元；和选择用于供给气体的供给出口使得在施加了未固化树脂的压射区域向按压位置移动的同时多个供给出口之中的供给气体的供给出口与基板或辅助板对置并且控制压射区域的移动方向的控制器。

公开(公告)号：CN104137224B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380010484.1

申请日：2013-02-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中川一樹 ,  江本圭司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29D2009/00 ,  B29K2101/00 ,  B29L2009/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 提供一种压印装置，该压印装置具有：施加单元；包含辅助板的基板保持单元；包含当模子按压向压射区域施加的未固化树脂时伴随从施加单元的施加位置到进行按压的按压位置的通过基板保持单元的驱动的压射区域的移动向模子与基板之间的间隙空间供给气体的多个供给出口的气体供给单元；和选择用于供给气体的供给出口使得在施加了未固化树脂的压射区域向按压位置移动的同时多个供给出口之中的供给气体的供给出口与基板或辅助板对置并且控制压射区域的移动方向的控制器。