-
公开(公告)号：CN1673872A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510054885.4
申请日：2005-03-22
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 江本圭司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H02K41/00
CPC classification number: G03F7/70875 , G03F7/70758 , Y10T74/20201
Abstract: 本发明的载置台装置，使用平面电动机驱动搭载了对象物的动子，包含(i)具有线圈组的定子单元和(ii)在上述定子单元上移动的动子；上述定子单元(a)具有对上述对象物进行第一处理的第一区域和(b)对上述对象物进行第二处理的第二区域；其中：上述定子单元内的线圈组在第一和第二区域独立地被温度调节。
-
公开(公告)号：CN106716258B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201580052047.5
申请日：2015-09-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: G03F9/7042 , B41F7/00 , G03F7/0002 , G03F7/7045 , G03F9/7038
Abstract: 本发明提供通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在基板上形成多个图案层的图案形成方法，所述方法包括：第一步骤，基于通过对由采用全局对准方法的光刻装置在基板上形成的多个标记使用逐个管芯对准方法获得的对准信息，通过采用逐个管芯对准方法的第一光刻装置形成第一图案层；以及第二步骤，基于通过对由第一光刻装置在第一步骤中在基板上形成的多个压射区域使用全局对准方法获得的对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠(S3)。
-
公开(公告)号：CN108701585B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201780012426.0
申请日：2017-02-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/72 , B29C59/02 , H01L21/304
Abstract: 提供通过在基板上的压印材料与模具接触的状态下固化压印材料来在基板(101)上形成图案的压印装置，其中，所述压印装置具有：基板卡盘(102)，其具有用于保持基板的基板保持区域；周边部件(113)，其被布置为围绕由基板卡盘保持的基板的侧面；以及控制单元，其用于控制用于通过使用包括带电单元的清洁部件(170)来清洁周边部件的区域的至少一部分的清洁过程。所述清洁过程包括用于在带电单元面向周边部件的区域的所述至少一部分的状态下使清洁部件相对于周边部件移动使得所述区域中的微粒被带电单元吸引的操作。
-
公开(公告)号：CN114002917A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202110841387.3
申请日：2021-07-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本申请涉及曝光设备和用于制造制品的方法。根据本发明的曝光设备，用于通过使用来自光源的曝光用光对基板进行曝光以将形成在原版上的图案转印到基板，曝光设备包括：基板台，基板安装在基板台上；驱动单元，配置成驱动基板台，驱动单元包括多个致动器，每个致动器配置成向基板台施加在彼此不同的各个取向上的推力；以及控制器，配置成控制驱动单元，以便当对基板上的多个投射区域中的每一个曝光时使基板台在扫描方向上移动，并且在沿扫描方向每次移动的至少一部分时间期间内使所述多个致动器中的每一个向基板台施加推力。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106716258A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580052047.5
申请日：2015-09-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F9/00 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: G03F9/7042 , B41F7/00 , G03F7/0002 , G03F7/7045 , G03F9/7038
Abstract: 本发明提供通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在基板上形成多个图案层的图案形成方法，所述方法包括：第一步骤，基于通过对由采用全局对准方法的光刻装置在基板上形成的多个标记使用逐个管芯对准方法获得的对准信息，通过采用逐个管芯对准方法的第一光刻装置形成第一图案层；以及第二步骤，基于通过对由第一光刻装置在第一步骤中在基板上形成的多个压射区域使用全局对准方法获得的对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠(S3)。
-
公开(公告)号：CN104137224B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380010484.1
申请日：2013-02-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C59/026 , B29D2009/00 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 提供一种压印装置，该压印装置具有：施加单元；包含辅助板的基板保持单元；包含当模子按压向压射区域施加的未固化树脂时伴随从施加单元的施加位置到进行按压的按压位置的通过基板保持单元的驱动的压射区域的移动向模子与基板之间的间隙空间供给气体的多个供给出口的气体供给单元；和选择用于供给气体的供给出口使得在施加了未固化树脂的压射区域向按压位置移动的同时多个供给出口之中的供给气体的供给出口与基板或辅助板对置并且控制压射区域的移动方向的控制器。
-
公开(公告)号：CN115616868A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202210823560.1
申请日：2022-07-13
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: 本公开涉及曝光装置和制造物品的方法。本发明提供了一种曝光装置，用于对基板中的多个拍摄区域中的每个拍摄区域执行扫描曝光，包括：载物台，被配置为保持基板；驱动器，被配置为驱动载物台；以及控制器，被配置为在根据驱动曲线来控制驱动器的同时控制对多个拍摄区域中的每个拍摄区域的扫描曝光，其中驱动曲线包括其中载物台在第一方向上以恒定加速度被驱动的第一区段、其中载物台在与第一方向相反的第二方向上以恒定加速度被驱动的第二区段，以及连接第一区段和第二区段的连接区段，并且其中执行扫描曝光的时段包括连接区段的至少一部分。
-
公开(公告)号：CN108701585A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780012426.0
申请日：2017-02-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C33/72 , B29C59/02 , H01L21/304
CPC classification number: G03F7/70925 , G03F7/0002
Abstract: 提供通过在基板上的压印材料与模具接触的状态下固化压印材料来在基板(101)上形成图案的压印装置，其中，所述压印装置具有：基板卡盘(102)，其具有用于保持基板的基板保持区域；周边部件(113)，其被布置为围绕由基板卡盘保持的基板的侧面；以及控制单元，其用于控制用于通过使用包括带电单元的清洁部件(170)来清洁周边部件的区域的至少一部分的清洁过程。所述清洁过程包括用于在带电单元面向周边部件的区域的所述至少一部分的状态下使清洁部件相对于周边部件移动使得所述区域中的微粒被带电单元吸引的操作。
-
公开(公告)号：CN104137224A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380010484.1
申请日：2013-02-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B29C59/026 , B29D2009/00 , B29K2101/00 , B29L2009/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 提供一种压印装置，该压印装置具有：施加单元；包含辅助板的基板保持单元；包含当模子按压向压射区域施加的未固化树脂时伴随从施加单元的施加位置到进行按压的按压位置的通过基板保持单元的驱动的压射区域的移动向模子与基板之间的间隙空间供给气体的多个供给出口的气体供给单元；和选择用于供给气体的供给出口使得在施加了未固化树脂的压射区域向按压位置移动的同时多个供给出口之中的供给气体的供给出口与基板或辅助板对置并且控制压射区域的移动方向的控制器。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.034 seconds)
