公开(公告)号：CN115685692A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210902358.8

申请日：2022-07-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 清原直树 ,  北直树

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开涉及控制设备、光刻装置和物品制造方法。一种控制待控制对象的控制设备。该设备包括：生成器，被配置为生成用于确定操纵变量的概率分布；以及确定器，被配置为基于由生成器生成的概率分布来确定操纵变量。在操作阶段中，确定器根据概率分布的期望值来确定操纵变量。

公开(公告)号：CN113541532B

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202110421529.0

申请日：2021-04-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北直树

IPC: H02P6/00 ,  H02K11/215 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及驱动系统、光刻装置以及物品制造方法。为了提供能够进行精度高的驱动的驱动系统，在驱动系统中，具有：马达，包括定子和动子；位置检测部，检测马达的定子和动子的相对位置；取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及控制单元，将成为基准的磁通密度信息的大小与预定的设定值一致时的所述相对位置设为第1相对位置，将由测定单元测定的磁通密度信息的大小与所述预定的设定值一致时的所述相对位置设为第2相对位置，在测定的磁通密度信息变化一个周期的期间多次取得第1相对位置与第2相对位置之差，根据所述多次中的每一次的差，控制马达的驱动。

公开(公告)号：CN113541532A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202110421529.0

申请日：2021-04-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北直树

IPC: H02P6/00 ,  H02K11/215 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及驱动系统、光刻装置以及物品制造方法。为了提供能够进行精度高的驱动的驱动系统，在驱动系统中，具有：马达，包括定子和动子；位置检测部，检测马达的定子和动子的相对位置；取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及控制单元，将成为基准的磁通密度信息的大小与预定的设定值一致时的所述相对位置设为第1相对位置，将由测定单元测定的磁通密度信息的大小与所述预定的设定值一致时的所述相对位置设为第2相对位置，在测定的磁通密度信息变化一个周期的期间多次取得第1相对位置与第2相对位置之差，根据所述多次中的每一次的差，控制马达的驱动。