公开(公告)号：CN115699254A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180036724.X

申请日：2021-06-08

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  清原直树 ,  千叶启子 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  山下敬司

IPC: H01L21/027

Abstract: 一种基板表面平坦化方法，其依次包括：布置步骤，将液体可固化组合物布置到具有不平度的基板上；等待步骤，进行等待，直到液体可固化组合物的层的表面变得平滑；曝光步骤，施加光以固化液体可固化组合物的层。布置步骤包括：第一布置步骤，布置由至少含有可聚合化合物(a1)的第一液体可固化组合物(A1)制成的层；以及第二布置步骤，将至少含有可聚合化合物(a2)的第二液体可固化组合物(A2)的液滴通过分散地滴下滴液的方式布置到由第一液体可固化组合物(A1)制成的层上。

公开(公告)号：CN117461112A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202280041244.7

申请日：2022-03-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  城野润平 ,  清原直树

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 提供一种固化性组合物，其可以解决当使已滴落到基板上且处于未彼此接触的状态的液滴与模具接触时气泡尺寸增大，而成为生产性降低的原因的压印处理中的问题。该固化性组合物包含聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂。聚合性化合物至少包含具有芳香族结构、芳香族杂环结构或脂环结构的化合物。固化性组合物在23℃的粘度为2mPa·s至60mPa·s，并且在除去溶剂的状态下，固化性组合物在23℃的粘度为30mPa·s至10,000mPa·s。溶剂的含量相对于整个固化性组合物为70vol％至95vol％。由此滴落的固化性组合物的液滴结合在一起，从而使得在与模具接触之前可以实质上形成连续的液膜。

公开(公告)号：CN115685692A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210902358.8

申请日：2022-07-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 清原直树 ,  北直树

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开涉及控制设备、光刻装置和物品制造方法。一种控制待控制对象的控制设备。该设备包括：生成器，被配置为生成用于确定操纵变量的概率分布；以及确定器，被配置为基于由生成器生成的概率分布来确定操纵变量。在操作阶段中，确定器根据概率分布的期望值来确定操纵变量。