公开(公告)号：CN105264369A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201480031643.0

申请日：2014-05-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 长谷川义大 ,  富吉俊夫

IPC: G01N29/24 ,  A61B5/00 ,  B06B1/02 ,  H01G5/16 ,  H04R19/00

CPC classification number: G01D5/24 ,  A61B5/0095 ,  A61B8/4483 ,  B06B1/0292 ,  B06B2201/76 ,  G01N29/2406 ,  G01N29/2418 ,  G01N2291/02466 ,  G01N2291/02475 ,  G01N2291/101 ,  H01G5/16 ,  H04R19/005

Abstract: 提供了一种其密封可靠性得到改进的电容式换能器。该电容式换能器包括单元和密封部分。单元包括第一电极和振动膜，振动膜具有第二电极，第二电极被形成为通过腔体与第一电极相对。形成蚀刻开口部分以通过牺牲层蚀刻来形成腔体。密封部分密封蚀刻开口部分。密封部分的周边处的间隙的高度小于腔体的高度。在其制造方法中，在形成用于形成腔体以及经由蚀刻流动路径连通到腔体的间隙的牺牲层的步骤中，牺牲层的在将变为间隙的区域中的高度被设置为小于牺牲层的在将变为腔体的区域中的高度。

公开(公告)号：CN115148766A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210320607.2

申请日：2022-03-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 富吉俊夫

IPC: H01L27/32

Abstract: 本发明涉及半导体设备及制造方法、显示设备及光电转换设备。半导体设备包括透光片以及包括有效像素区域和周边区域的半导体器件。第一接合构件布置在周边区域和透光片之间。第二接合构件布置在有效像素区域和透光片之间。第一接合构件和第二接合构件经由第一界面彼此接触。第二接合构件由树脂制成。第二接合构件包括第一部分和第二部分，第二部分布置在第一部分和第一接合构件之间并经由第一界面与第一接合构件接触。第二部分的固化率比第一部分的固化率低。