公开(公告)号：CN105892230B

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201610083908.2

申请日：2016-02-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： B-J·乔 ,  M·加纳帕蒂苏布拉玛尼安 ,  村里直记 ,  宫岛义一

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及模具、压印设备和制造物品的方法。一种模具，包括：图案部，图案部中形成有图案；以及凹部，形成在图案部的背面中，并且在平面图中具有的尺寸能够包容图案部，其中，图案部的边缘在平面图中为矩形形状，以及凹部包括沿着图案部矩形形状侧面的侧壁部。

公开(公告)号：CN105892230A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610083908.2

申请日：2016-02-06

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： B-J·乔 ,  M·加纳帕蒂苏布拉玛尼安 ,  村里直记 ,  宫岛义一

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及模具、压印设备和制造物品的方法。一种模具，包括：图案部，图案部中形成有图案；以及凹部，形成在图案部的背面中，并且在平面图中具有的尺寸能够包容图案部，其中，图案部的边缘在平面图中为矩形形状，以及凹部包括沿着图案部矩形形状侧面的侧壁部。