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公开(公告)号：CN104730859A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410784784.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C33/72 , G03F7/0002
Abstract: 一种通过使用模具而在基体上形成图案的压印方法，该方法包括：将基体装入压印装置中；在基体装入压印装置中之后除去粘附在形成于模具上的图案上的全部或一部分异物颗粒，这通过使得模具和供给至压印装置内的与基体不同的部件上的压印材料接触，并固化该压印材料以便形成图案而进行；以及通过使用已经从其上除去异物颗粒的模具在已经装入压印装置内的基体上形成图案。
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公开(公告)号：CN106168736A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201610325478.0
申请日：2016-05-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 根据本发明的第一方面，提供了一种压印装置，用于使模具与施加在基片上的树脂接触，以便执行在基片上形成图形，所述压印装置包括：分配器，所述分配器构造成将树脂施加在基片上；以及树脂供给单元，所述树脂供给单元构造成将树脂供给至分配器，其中，所述树脂供给单元包括：树脂储存储罐，所述树脂储存储罐构造成储存树脂；泵，所述泵构造成使树脂在所述树脂储存储罐和分配器之间连续循环；以及过滤器，所述过滤器布置在被循环的树脂的流动通路处，并构造成除去异物或金属离子。还提供了一种物品制造方法。
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公开(公告)号：CN1618114A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN03802357.1
申请日：2003-06-19
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 宫岛义一
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G21K1/06
CPC classification number: G21K1/06 , G02B7/1815 , G03F7/70175 , G03F7/702 , G03F7/70233 , G03F7/70891 , G21K2201/065 , G21K2201/067
Abstract: 本申请公开了一种反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法。在通过反射引导曝光光线的曝光设备中，用在反射光学系统中的反射镜设备具有：一个具有一个反射所述曝光光线的反射表面的反射镜；用于散热冷却的散热板，被设置在离开所述反射镜的外表面的位置。所述散热板的设置确保入射到所述反射表面上并从该反射表面反射的所述曝光光线的通道区域。另外，用流过冷却管的冷却液体对各散热板进行温度控制。这样，可以抑制用在曝光设备的反射光学系统中的反射镜的温度上升，保持反射镜反射面的面形状的精度。
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公开(公告)号：CN1577105A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410063325.0
申请日：2004-07-08
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 宫岛义一
CPC classification number: G03F7/70991 , F16L9/19 , G03F7/70716 , H02G11/006
Abstract: 本发明提供的曝光装置，能抑制基板台(4)上的配管系统引入部的紊乱，抑制从配管的发尘，以及抑制配管部件表面带静电。本发明的曝光装置中，通过投影光学系统(照明系统单元)(1)，把画在原版面上的图形投影到基板上，用台装置(4)使原版和基板双方、或只使基板相对于该投影光学系统移动，把原版的图形反复曝光到基板上。与台装置的可动部连接着的若干个内外径不同的配管，其外周部的一部分相互接合着，形成为一体化的配管列(20)或(21)。
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公开(公告)号：CN104730859B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201410784784.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C33/72 , G03F7/0002
Abstract: 一种通过使用模具而在基体上形成图案的压印方法，该方法包括：将基体装入压印装置中；在基体装入压印装置中之后除去粘附在形成于模具上的图案上的全部或一部分异物颗粒，这通过使得模具和供给至压印装置内的与基体不同的部件上的压印材料接触，并固化该压印材料以便形成图案而进行；以及通过使用已经从其上除去异物颗粒的模具在已经装入压印装置内的基体上形成图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106256014B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201580021792.3
申请日：2015-04-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种使用模具在供给到基板上的压印材料中形成图案的压印装置，该压印装置包括：供给单元，其包括多个孔口，所述多个孔口中的各个孔口将压印材料朝向基板排出，并且所述供给单元被构造成通过从各个孔口排出压印材料来将压印材料供给到基板上；以及控制单元，其被构造成根据指示应当供给到基板上的压印材料在基板上的分布的分布信息来控制压印材料从各个孔口的排出，其中，所述控制单元基于关于从各个孔口排出的压印材料的排出量的信息来更新分布信息，使得使用模具而形成的压印材料的厚度落在可允许的范围内。
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公开(公告)号：CN105319861B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201510293935.8
申请日：2015-06-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70741 , G03F7/0002 , G03F7/7035 , G03F7/70691 , G03F7/7075 , G03F7/70991
Abstract: 一种光刻装置包括原版传送路线、基板传送路线和多个图形形成设备，每个图形形成设备被构造用于使用原版在基板上进行图形形成。所述多个图形形成设备布置成两列。基板传送路线在所述两列之间并沿所述两列提供。原版传送路线提供在两列中的每列上，在两列原版传送路线之间并沿着两列原版传送路线布置两列图形形成设备。一种物品制造方法。
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公开(公告)号：CN1278189C
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200410063325.0
申请日：2004-07-08
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 宫岛义一
CPC classification number: G03F7/70991 , F16L9/19 , G03F7/70716 , H02G11/006
Abstract: 本发明提供的曝光装置，能抑制基板台(4)上的配管系统引入部的紊乱，抑制从配管的发尘，以及抑制配管部件表面带静电。本发明的曝光装置中，通过投影光学系统(照明系统单元)(1)，把画在原版面上的图形投影到基板上，用台装置(4)使原版和基板双方、或只使基板相对于该投影光学系统移动，把原版的图形反复曝光到基板上。与台装置的可动部连接着的若干个内外径不同的配管，其外周部的一部分相互接合着，形成为一体化的配管列(20)或(21)。
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公开(公告)号：CN106256014A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201580021792.3
申请日：2015-04-16
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种使用模具在供给到基板上的压印材料中形成图案的压印装置，该压印装置包括：供给单元，其包括多个孔口，所述多个孔口中的各个孔口将压印材料朝向基板排出，并且所述供给单元被构造成通过从各个孔口排出压印材料来将压印材料供给到基板上；以及控制单元，其被构造成根据指示应当供给到基板上的压印材料在基板上的分布的分布信息来控制压印材料从各个孔口的排出，其中，所述控制单元基于关于从各个孔口排出的压印材料的排出量的信息来更新分布信息，使得使用模具而形成的压印材料的厚度落在可允许的范围内。
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