公开(公告)号：CN100375214C

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200410002720.8

申请日：2004-01-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 木村明弘 ,  大木一弘 ,  镰田重人

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 在减压环境中对基板上配置的导体进行通电处理的通电处理装置中，通过分别包括基板上配置了导体并且被真空吸附区域的温度控制机构，以及基板上除此以外区域的温度控制机构，降低基板上的温度差，抑制热膨胀率差造成的基板破损。

公开(公告)号：CN1551277A

公开(公告)日：2004-12-01

申请号：CN200410002720.8

申请日：2004-01-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 木村明弘 ,  大木一弘 ,  镰田重人

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 在减压环境中对基板上配置的导体进行通电处理的通电处理装置中，通过分别包括基板上配置了导体并且被真空吸附区域的温度控制机构，以及基板上除此以外区域的温度控制机构，降低基板上的温度差，抑制热膨胀率差造成的基板破损。

公开(公告)号：CN101335167B

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN200810131781.2

申请日：2008-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 长谷川光利 ,  小柳和夫 ,  多川昌宏 ,  伊藤靖浩 ,  大桥康雄 ,  镰田重人

IPC: H01J9/26 ,  H01J5/02 ,  H01J29/86 ,  H01J31/12

Abstract: 一种气密容器的制造方法，包括：接合材料布置步骤，即将第一接合材料和对于压力的可压缩性大于第一接合材料的可压缩性的第二接合材料布置在第一部件上，使得第一和第二接合材料以并排的关系设置，并且第一接合材料的高度低于第二接合材料的高度；将第二部件挤压至第二接合材料；一部分一部分顺序地加热并熔化第一接合材料；以及冷却所述第一接合材料以将第一和第二部件接合在一起；本发明还涉及一种使用上述方法制造的气密容器以及使用该气密容器的成像设备的制造方法。

公开(公告)号：CN1303647C

公开(公告)日：2007-03-07

申请号：CN200410078913.1

申请日：2004-09-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 木村明弘 ,  镰田重人

IPC: H01L21/02 ,  H05B3/00

CPC classification number: F26B5/04 ,  F26B25/08

Abstract: 在制造图像显示装置时，为了对构成内置有图像显示装置的容器的基板进行均匀的加热，抑制发生基板的翘曲和破损，在真空容器内，将加热器对向配置在基板的两侧，并用热反射部件所围绕；进一步，配置位于基板的周端面和热反射部件之间的分隔部件；由此对基板进人加热。

公开(公告)号：CN101335167A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810131781.2

申请日：2008-06-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 长谷川光利 ,  小柳和夫 ,  多川昌宏 ,  伊藤靖浩 ,  大桥康雄 ,  镰田重人

IPC: H01J9/26 ,  H01J5/02 ,  H01J29/86 ,  H01J31/12

Abstract: 一种气密容器的制造方法，包括：接合材料布置步骤，即将第一接合材料和对于压力的可压缩性大于第一接合材料的可压缩性的第二接合材料布置在第一部件上，使得第一和第二接合材料以并排的关系设置，并且第一接合材料的高度低于第二接合材料的高度；将第二部件挤压至第二接合材料；一部分一部分顺序地加热并熔化第一接合材料；以及冷却所述第一接合材料以将第一和第二部件接合在一起；本发明还涉及一种使用上述方法制造的气密容器以及使用该气密容器的成像设备的制造方法。

公开(公告)号：CN1604274A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：CN200410078913.1

申请日：2004-09-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 木村明弘 ,  镰田重人

IPC: H01L21/02 ,  H05B3/00

CPC classification number: F26B5/04 ,  F26B25/08

Abstract: 在制造图像显示装置时，为了对构成内置有图像显示装置的容器的基板进行均匀的加热，抑制发生基板的翘曲和破损，在真空容器内，将加热器对向配置在基板的两侧，并用热反射部件所围绕；进一步，配置位于基板的周端面和热反射部件之间的分隔部件；由此对基板进人加热。