公开(公告)号：CN111048440B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN201910960886.7

申请日：2019-10-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 黑泽博史

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/00 ,  G03F7/09 ,  G03F7/095

Abstract: 本发明涉及膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法。一种用于在基板上形成膜的膜形成装置包括：驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；加热器，被配置为通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合平坦表面；以及固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。

公开(公告)号：CN115151867A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202180015996.1

申请日：2021-02-09

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 黑泽博史 ,  伊藤俊树

IPC: G03F7/20

Abstract: [问题]为了提供一种用于将基板的曝光区域保持在曝光设备的焦深(DOF)内的有利技术。[解决方案]该膜形成设备，用光照射基板上的组成物以在基板上形成组成物的膜，包括：在基板上形成光的积分光量的分布的光调制单元；以及用于控制光调制单元的控制单元。控制单元基于组成物的残膜率特点以及在后续步骤中使用的模板的成像平面的弯曲形状和形成在基板上的基膜的表面形状中的至少一个来控制光调制单元的积分光量的分布。

公开(公告)号：CN111048440A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201910960886.7

申请日：2019-10-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 黑泽博史

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/00 ,  G03F7/09 ,  G03F7/095

Abstract: 本发明涉及膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法。一种用于在基板上形成膜的膜形成装置包括：驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；加热器，被配置为通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合平坦表面；以及固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。