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公开(公告)号：CN119596642A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411246164.2
申请日：2024-09-06
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明提供了可固化组合物、膜形成方法和制造方法。一种可固化组合物含有可聚合化合物、光聚合引发剂和溶剂，其中，所述可固化组合物在23℃和1atm下的粘度不小于1.3mPa·s且不大于60mPa·s，溶剂相对于整个可固化组合物的含量不小于5体积％且不大于95体积％，溶剂在1atm下的沸点不低于135℃，并且将通过在1atm下从可固化组合物中去除溶剂而获得的组合物的表面张力定义为γ1[mN/m]，将溶剂在23℃和1atm下的表面张力定义为γ2[mN/m]，γ1不大于30，γ2不大于24，并且γ1大于γ2。
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公开(公告)号：CN108885976B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN201780022176.9
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供在基板上形成图案的方法，该方法包括：在基板的表面上层叠包含作为聚合性化合物的组分(a1)的固化性组合物(A1)的层；在固化性组合物(A1)的层上离散地滴落至少包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(A2)的液滴；将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在具有图案的模具和基板之间；用光照射混合层以使混合层固化；和使模具与固化后的混合层脱离，其中固化性组合物(A1)中的作为聚合性化合物的组分(a1)和固化性组合物(A2)之间的汉森距离Ra((a1)‑(A2))为6以下。
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公开(公告)号：CN115151867A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202180015996.1
申请日：2021-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/20
Abstract: [问题]为了提供一种用于将基板的曝光区域保持在曝光设备的焦深(DOF)内的有利技术。[解决方案]该膜形成设备，用光照射基板上的组成物以在基板上形成组成物的膜，包括：在基板上形成光的积分光量的分布的光调制单元；以及用于控制光调制单元的控制单元。控制单元基于组成物的残膜率特点以及在后续步骤中使用的模板的成像平面的弯曲形状和形成在基板上的基膜的表面形状中的至少一个来控制光调制单元的积分光量的分布。
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公开(公告)号：CN108602238B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201780008232.3
申请日：2017-01-20
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树
IPC: B29C59/02
Abstract: 根据本发明的图案形成方法以下述顺序包括：步骤(1)：将由至少包含聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)形成的层层压在基板的表面上；步骤(2)：将至少包含聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴通过以离散的方式滴落而在固化性组合物(A1)层上形成层压体；步骤(3)：将通过固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的部分混合形成的层夹持在模具和基板之间；步骤(4)：从模具侧用光照射通过两种固化性组合物的部分混合形成的层的被夹持在模具和基板之间的部分，以使所述部分一次性固化；和步骤(5)：将模具与固化后的固化性组合物的层分离。该图案形成方法的特征在于：固化性组合物(A1)至少包含由通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物(a1)：
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公开(公告)号：CN107251192B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680011970.9
申请日：2016-02-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109075033A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022158.0
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 大谷智教 , 千叶启子 , 刘卫军 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)和溶剂组分(d1)的固化性组合物(A1)的层层叠在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在前述固化性组合物的层上。将所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)的混合层夹持在所述基板与模具之间。通过用光照射而使所述混合层固化。使所述模具与固化后的所述混合层脱离，并且在所述基板上形成图案。
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公开(公告)号：CN109075031A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022065.8
申请日：2017-03-23
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 千叶启子 , 伊藤俊树 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 , 尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 , 刘卫军
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 包括含有聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)的层形成于基板的表面上，包括含有聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴以离散的方式滴落至包括固化性组合物(A1)的层上，将由固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)部分地混合形成的混合层夹持在模具与基板之间，将混合层通过从模具侧用光照射混合层来固化，并且使模具与固化后的混合层脱离，由此在基板上形成固化材料的图案。通过固化性组合物(A1)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为40mPa·s以上且小于500mPa·s且通过固化性组合物(A2)的除了溶剂之外的组合物的25℃下的粘度设定为1mPa·s以上且小于40mPa·s，在基板上在多轮区域中以均匀的精度借助上述方法形成了固化材料的图案。
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公开(公告)号：CN105340062A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036784.1
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F2/50
CPC classification number: B29C59/026 , B29C33/62 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C08K2201/00 , C08L33/08 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/266 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。
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公开(公告)号：CN104823264A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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公开(公告)号：CN104487229A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380038725.3
申请日：2013-07-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: B29C59/026 , B29K2105/0002 , G03F7/0002 , G03F7/027
Abstract: 提供一种树脂生产方法，其中使用纳米压印法在树脂生产方法中降低模具和固化性树脂之间的脱模力。该树脂生产方法包括在基板(2)上配置固化性组合物(1)的配置步骤；使模具(3)与固化性组合物(1)彼此接触的接触步骤；在将固化性组合物(1)与模具(3)保持接触的同时、通过用放射线照射固化性组合物(1)或加热固化性组合物(1)而将固化性组合物(1)固化的固化性组合物固化步骤；当将固化性组合物(1)固化时、沿基板(2)和模具(3)彼此分离的方向产生拉伸应力至模具(3)和固化性组合物(1)不彼此分离的程度的拉伸应力产生步骤；和将固化性组合物(1)和模具(3)彼此脱离的脱模步骤。
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