公开(公告)号：CN106256014A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201580021792.3

申请日：2015-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山口裕充 ,  田村泰之 ,  宫岛义一 ,  齐藤昭男

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 本发明提供一种使用模具在供给到基板上的压印材料中形成图案的压印装置，该压印装置包括：供给单元，其包括多个孔口，所述多个孔口中的各个孔口将压印材料朝向基板排出，并且所述供给单元被构造成通过从各个孔口排出压印材料来将压印材料供给到基板上；以及控制单元，其被构造成根据指示应当供给到基板上的压印材料在基板上的分布的分布信息来控制压印材料从各个孔口的排出，其中，所述控制单元基于关于从各个孔口排出的压印材料的排出量的信息来更新分布信息，使得使用模具而形成的压印材料的厚度落在可允许的范围内。

公开(公告)号：CN106256014B

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201580021792.3

申请日：2015-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山口裕充 ,  田村泰之 ,  宫岛义一 ,  齐藤昭男

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 本发明提供一种使用模具在供给到基板上的压印材料中形成图案的压印装置，该压印装置包括：供给单元，其包括多个孔口，所述多个孔口中的各个孔口将压印材料朝向基板排出，并且所述供给单元被构造成通过从各个孔口排出压印材料来将压印材料供给到基板上；以及控制单元，其被构造成根据指示应当供给到基板上的压印材料在基板上的分布的分布信息来控制压印材料从各个孔口的排出，其中，所述控制单元基于关于从各个孔口排出的压印材料的排出量的信息来更新分布信息，使得使用模具而形成的压印材料的厚度落在可允许的范围内。