公开(公告)号：CN1448783A

公开(公告)日：2003-10-15

申请号：CN02108248.0

申请日：2002-03-28

Applicant: 保谷株式会社

Inventor： 中山宪治

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明提供一种对于用现有的修正方法实际上很难修正的灰调部中的缺陷，可容易地修正的修正方法。例如，在包含白缺陷的区域中形成修正膜8之后，用与正常图形具有相同的灰调效果的形状及/或排列除去上述修正膜8的一部分，形成与正常图形3a、3b的宽度和位置不同的修正图形3a’、3b’。

公开(公告)号：CN1401994A

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：CN02108249.9

申请日：2002-03-28

Applicant: 保谷株式会社

Inventor： 中山宪治

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/59 ,  G03F1/00

CPC classification number: G03F1/84 ,  G03F1/50 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明提供一种针对具有遮光部、透射部和灰调部的灰调掩模，可以实现一次检查的缺陷检查方法及缺陷检查装置。采用通过互相比较掩模内形成的同一图形来检测缺陷的比较检查方法，作为根据图形的不同而出现的信息的阈值，除了设有普通的遮光部及透射部的缺陷抽出阈值之外，还新设灰调部专用的缺陷抽出阈值，并且识别正在检查遮光部及透射部、灰调部中哪个区域，正在检查遮光部或透射部时，使用遮光部、透射部用缺陷抽出阈值进行普通缺陷的检查，正在检查灰调部时，使用灰调部专用的缺陷抽出阈值进行灰调部的缺陷检查。