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公开(公告)号：CN111338181B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN201911315425.0
申请日：2019-12-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法。包含以下的感光性树脂组合物具有改进的膜性质：含有硅亚苯基骨架和芴骨架并且在分子内具有可交联位点的聚合物，Mw为300‑10,000的酚化合物，光致产酸剂，和苯并三唑或咪唑化合物。即使由厚膜，也可形成细微尺寸图案。
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公开(公告)号：CN111338181A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201911315425.0
申请日：2019-12-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法。包含以下的感光性树脂组合物具有改进的膜性质：含有硅亚苯基骨架和芴骨架并且在分子内具有可交联位点的聚合物，Mw为300-10,000的酚化合物，光致产酸剂，和苯并三唑或咪唑化合物。即使由厚膜，也可形成细微尺寸图案。
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公开(公告)号：CN114600045B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202080073517.7
申请日：2020-09-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物，其包含：(A)包含由下述式(A1)表示的重复单元、和选自由下述式(A2)表示的重复单元及由下述式(A3)表示的重复单元中的至少1种的聚合物、(B)在1分子中平均包含4个以上的环氧基的环氧化合物、(C)光致产酸剂、(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物、和(E)有机溶剂。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN114600045A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080073517.7
申请日：2020-09-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物，其包含：(A)包含由下述式(A1)表示的重复单元、和选自由下述式(A2)表示的重复单元及由下述式(A3)表示的重复单元中的至少1种的聚合物、(B)在1分子中平均包含4个以上的环氧基的环氧化合物、(C)光致产酸剂、(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物、和(E)有机溶剂。
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