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公开(公告)号：CN106647161B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201610937977.5
申请日：2016-10-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
Abstract: 提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件，该防尘薄膜组件的制造方法，以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为，接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50％的范围。式：硬度的变化率(％)＝{(所述静置后的硬度)－(所述静置前的硬度)}÷(所述静置前的硬度)×100。
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公开(公告)号：CN104977800B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201510153493.7
申请日：2015-04-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
Abstract: 提供一种不易发生污染防尘薄膜和光掩模的外部气体，同时具有耐高温的耐热性的防尘薄膜组件用接着剂以及使用其的EUV用防尘薄膜组件。本发明的接着剂，为将防尘薄膜11贴附于防尘薄膜组件框架12的低外部气体性的防尘薄膜组件用接着剂13。这种接着剂13的特征为其为硅酮系接着剂，而且外部气体量用ASTM＿E595－93的实验方法测定时，满足TML为1.0％以下，CVCM为0.1％以下的条件。另外，本发明的防尘薄膜组件，为在EUV曝光时，被暴露于100℃～200℃的温度的EUV用防尘薄膜组件，其防尘薄膜11通过满足上述条件且具有耐100℃～200℃的温度的接着剂贴附于防尘薄膜组件框架12。
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公开(公告)号：CN106597806A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201610896178.8
申请日：2016-10-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
IPC: G03F1/62
CPC classification number: G03F1/64 , G03F7/2004 , G03F1/62
Abstract: 防止由于EUV曝光而使防尘膜升温而产生的防尘膜的变形以及破损，脱落。本发明的内容为在防尘薄膜组件的接着层中配合热传导性充填剂。
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公开(公告)号：CN104977800A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510153493.7
申请日：2015-04-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
Abstract: 提供一种不易发生污染防尘薄膜和光掩模的外部气体，同时具有耐高温的耐热性的防尘薄膜组件用接着剂以及使用其的EUV用防尘薄膜组件。本发明的接着剂，为将防尘薄膜11贴附于防尘薄膜组件框架12的低外部气体性的防尘薄膜组件用接着剂13。这种接着剂13的特征为其为硅酮系接着剂，而且外部气体量用ASTM＿E595－93的实验方法测定时，满足TML为1.0％以下，CVCM为0.1％以下的条件。另外，本发明的防尘薄膜组件，为在EUV曝光时，被暴露于100℃～200℃的温度的EUV用防尘薄膜组件，其防尘薄膜11通过满足上述条件且具有耐100℃～200℃的温度的接着剂贴附于防尘薄膜组件框架12。
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公开(公告)号：CN104974682A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510090684.3
申请日：2015-02-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
CPC classification number: G03F1/64 , C09K11/06 , C09K2211/1011 , C09K2211/1033 , G03F1/142 , G03F1/62
Abstract: 一种将至少由防尘薄膜和该防尘薄膜被贴附在其上的防尘薄膜组件框架构成的防尘薄膜组件贴附在玻璃基板时用粘着剂，其特征在于，该粘着剂含有荧光材料。所述荧光材料，优选其浓度为0.01质量％以上1.0质量％未满。所述荧光材料，优选在紫外线的下发出荧光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111679549B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202010637924.8
申请日：2016-10-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
Abstract: 提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件，该防尘薄膜组件的制造方法，以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为，接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50％的范围。式：硬度的变化率(％)＝{(所述静置后的硬度)－(所述静置前的硬度)}÷(所述静置前的硬度)×100。
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公开(公告)号：CN115903373A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211555279.0
申请日：2016-10-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
IPC: G03F1/62
Abstract: 本发明提供一种防止由于EUV曝光而使防尘膜升温而产生的防尘膜的变形以及破损，脱落。本发明的内容为在防尘薄膜组件的接着层中配合热传导性充填剂。
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公开(公告)号：CN105388700B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201510512777.0
申请日：2015-08-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
Abstract: 本发明提供一种可减少从防尘薄膜组件框架释放出的硫酸离子以及铵离子等的，在曝光环境下，可减少雾状物(haze)的发生防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件。构成该防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架，被含有对二甲苯系聚合物的层被覆。
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公开(公告)号：CN102189066A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110035692.X
申请日：2011-02-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 堀越淳
Abstract: 本发明目的在于提供一种防尘薄膜组件制造方法，该组件具备确认装置，其在用自动涂布装置对组件框架涂布接合剂、粘着剂的步骤中，会于涂布前确认涂布位置。本发明防尘薄膜组件制造方法包括用自动涂布装置对组件框架端面涂布接合剂或粘着剂的步骤，其特征在于，在涂布该接合剂或粘着剂的步骤中，取得接受涂布操作的组件框架端面的位置信息，根据位置信息将开始涂布位置与涂布方向输入涂布程序，以对组件框架端面涂布接合剂或粘着剂。位置信息最好为三维位置信息，另外，最好从图像取得位置信息，再者，最好从图像取得三维位置信息之中的平面方向的位置信息，且最好利用电磁波或音波取得上下方向的位置信息，另外，最好利用相机取得图像。
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公开(公告)号：CN100374490C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200410055033.2
申请日：2004-05-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C08L83/04 , C08G77/12 , C08G77/16 , C08G77/18 , C08G77/20 , C08G77/70 , C08K3/08 , C08K3/22 , C08K5/54 , C08L83/14 , C08L83/00
Abstract: 一种RTV导热硅橡胶组合物，包含(A)两端具有可水解基团的有机聚硅氧烷，(B)在一端具有至少一个可水解基团的有机聚硅氧烷，(C)导热填料，和(D)具有可水解基团的有机硅化合物或其部分水解缩合物。该组合物即使填充大量导热填料(C)，粘度也只经历最轻微的增加，具有很好的灌注、涂覆和密封性能，适合用于单组分形式。
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