公开(公告)号：CN105372933A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510510609.8

申请日：2015-08-19

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  安藤雅郎 ,  竹内正树

IPC分类号： G03F7/00

摘要： 通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材，和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面，和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动，由此抛光该基材的该侧面，从而制备矩形基材。在压印光刻法中，该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案形状，并由此能将微细特征尺寸的复杂图案转印至接收体。

公开(公告)号：CN102314082B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201110259707.0

申请日：2011-06-28

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 冈藤大雄 ,  竹内正树 ,  山崎裕之

IPC分类号： G03F7/00 ,  C03B20/00 ,  C03C15/00

CPC分类号： B24B7/241 ,  B24B7/228 ,  B24B19/03 ,  C03C15/02

摘要： 本发明涉及一种用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。通过机加工整体上具有至多3nm/cm的最大双折射率的合成石英玻璃衬底的至少一个表面以形成凹槽、沟道或台阶，和去除由机加工所致的残余应力来制造具有凹槽、沟道或台阶的电子级合成石英玻璃衬底。

公开(公告)号：CN113675128A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110525063.9

申请日：2021-05-14

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 上田修平 ,  竹内正树 ,  山崎裕之 ,  塚田健斗

IPC分类号： H01L21/683 ,  C03C17/30

摘要： 本发明涉及用于转移微小结构体的基板及其制造方法。提供一种具有刻印标记的用于转移微小结构体(例如微型LED)的基板。该用于转移微小结构体的基板不易引起读取装置中发生的刻印标记的读取错误，并且能够稳定地、连续地读取刻印标记。一种用于转移微小结构体的基板，包括：合成石英玻璃基板，和设置于合成石英玻璃基板的正面的有机硅压敏粘合剂层。所述基板的正面设置有刻印标记。

公开(公告)号：CN102314082A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110259707.0

申请日：2011-06-28

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 冈藤大雄 ,  竹内正树 ,  山崎裕之

IPC分类号： G03F7/00 ,  C03B20/00 ,  C03C15/00

CPC分类号： B24B7/241 ,  B24B7/228 ,  B24B19/03 ,  C03C15/02

摘要： 本发明涉及一种用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。通过机加工整体上具有至多3nm/cm的最大双折射率的合成石英玻璃衬底的至少一个表面以形成凹槽、沟道或台阶，和去除由机加工所致的残余应力来制造具有凹槽、沟道或台阶的电子级合成石英玻璃衬底。

公开(公告)号：CN116282854A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211641730.0

申请日：2022-12-20

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 安藤雅郎 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC分类号： C03B20/00 ,  C03B23/203

摘要： 本发明提供了用于在微流路装置中使用的合成石英玻璃基板、合成石英玻璃微流路装置及其制造方法，在制造微流路装置时可将通过光学接触的接合应用于该微流路装置，并且其在接合界面中具有高黏着性，并且不会导致例如未结合和基板的破损的缺陷以及气泡夹在接合界面处的缺陷。用于在微流路装置中使用的合成石英玻璃基板，其中在0.4mm‑1或更大且100mm‑1或更小的空间频率下的循环平均功率谱密度的最大值为5.0×1015nm4或更小，所述最大值通过使用白色干涉仪测量所述合成石英玻璃基板的表面上6.0mm×6.0mm的任何给定区域而获得。

公开(公告)号：CN103809371B

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201310533747.9

申请日：2013-11-01

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 原田大实 ,  冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F1/60

摘要： 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。

公开(公告)号：CN103064247A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201210408103.2

申请日：2012-10-24

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC分类号： G03F1/00 ,  G03F1/60 ,  B24B9/14

CPC分类号： B24B37/042 ,  B24B1/00 ,  B24B5/50 ,  B24B7/228 ,  B24B9/065 ,  B24B9/08 ,  B24B37/02 ,  B24B37/04 ,  G03F1/60 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24479

摘要： 本发明公开了一种电子等级玻璃基板，该电子等级玻璃基板提供有在一个表面中的凹口、槽道或台阶以及在该凹口、槽道或台阶的侧表面和该一个表面之间的第一倒角。对该凹口、槽道或台阶的侧表面和底表面进行镜面抛光，且对该第一倒角进行镜面抛光。

公开(公告)号：CN102328265A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201110259674.X

申请日：2011-06-28

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 冈藤大雄 ,  竹内正树 ,  山崎裕之

IPC分类号： B24B29/02 ,  G03F1/14 ,  G03F1/00

CPC分类号： B24B7/241 ,  B24B7/228 ,  B24B19/03 ,  C03C15/02

摘要： 本发明涉及用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过机加工合成石英玻璃衬底以形成凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触，制造电子级合成石英玻璃衬底。

公开(公告)号：CN118925815A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410559471.X

申请日：2024-05-08

申请人： 信越化学工业株式会社 ,  信越工程株式会社

发明人： 安藤雅郎 ,  山崎裕之 ,  竹内正树 ,  川越一真

IPC分类号： B01L3/00

摘要： 微流体装置包括：具有在内部形成的流路的微流体芯片；盖和底座，各自与微流体芯片的表面接触；芯片保持器，其包括用于将微流体芯片固定至盖和底座的固定装置；和一端与微流体芯片的表面接触且另一端起到流体供应或排出口作用的连接器。微流体芯片的表面的平坦度为50μm或更小，盖和底座的表面的平面度为50μm或更小。通过这种结构，微流体芯片几乎不变形，并且抑制对微流体芯片的损坏。另外，在与微流体芯片的流路的连接部分液体密封性高，液体泄露几乎不发生。

公开(公告)号：CN114474412A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111233009.3

申请日：2021-10-22

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 安藤雅郎 ,  山崎裕之

IPC分类号： B28D1/00 ,  B28D1/22

摘要： 本发明涉及合成石英玻璃基材的加工方法。通过使作为被加工件的合成石英玻璃基板的表面与由合成石英玻璃制成的保护部件的表面接触并将合成石英玻璃基板的表面叠放在保护部件的表面上从而实现被加工件和保护部件的光学接触接合，并使切削工具通过光学接触接合表面来加工合成石英玻璃基板。这种加工方法能够有效地防止在切削操作期间在切削工具进入部和脱离部处微缺陷的产生。此外，没有使用固定剂连接被加工件和保护部件，因此生产率高，因为不需要施加固定剂和之后去除固定剂。