EUV用防尘薄膜组件、使用其的EUV用组合体以及组合方法

    公开(公告)号:CN104793460A

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201510028801.3

    申请日:2015-01-20

    IPC分类号: G03F1/24 G03F1/62

    摘要: 本发明提供一种EUV用防尘薄膜组件,使用其的EUV用组合体以及其组合方法。本发明的EUV用防尘薄膜组件为由将防尘薄膜用网格结构体进行补强了的防尘薄膜结构体以及对该防尘薄膜结构体进行保持的防尘薄膜组件框架构成的EUV用防尘薄膜组件。网格结构体,由于EUV光在掩模面反射,2次通过EUV用防尘薄膜组件,所以在晶片上被投影为2种的影像。本发明的其特征在于,将间隔值进行设定,使所述影像的浓淡对比度比减小至25%以下,并且,这种间隔值,以设定为0.3mm~1.0mm的范围内为优选。

    硅的精炼方法、硅及太阳能电池

    公开(公告)号:CN101588992A

    公开(公告)日:2009-11-25

    申请号:CN200780042061.2

    申请日:2007-09-26

    IPC分类号: C01B33/037

    摘要: 本发明提供了一种硅的精炼方法,该方法能够在精炼金属硅、制造太阳能电池时降低作为杂质的硼的含量,其特征在于,包括以下步骤:准备熔融的硅和熔融盐共存的混合物;将含氯原子的气体导入所述混合物;将水蒸气与含氯原子的气体一同导入。所述含氯原子的气体优选氯气或四氯化硅,作为熔融盐最好至少由二氧化硅和氧化钙的混合物构成,另外也可以包含氟化钙。

    EUV用防尘薄膜组件、使用其的EUV用组合体以及组合方法

    公开(公告)号:CN104793460B

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201510028801.3

    申请日:2015-01-20

    IPC分类号: G03F1/24 G03F1/62

    摘要: 本发明提供一种EUV用防尘薄膜组件,使用其的EUV用组合体以及其组合方法。本发明的EUV用防尘薄膜组件为由将防尘薄膜用网格结构体进行补强了的防尘薄膜结构体以及对该防尘薄膜结构体进行保持的防尘薄膜组件框架构成的EUV用防尘薄膜组件。网格结构体,由于EUV光在掩模面反射,2次通过EUV用防尘薄膜组件,所以在晶片上被投影为2种的影像。本发明的其特征在于,将间隔值进行设定,使所述影像的浓淡对比度比减小至25%以下,并且,这种间隔值,以设定为0.3mm~1.0mm的范围内为优选。