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公开(公告)号：CN104395248B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201380034214.4
申请日：2013-06-27
申请人： 株式会社尼康
CPC分类号： C03B19/1415 , C03B11/00 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B19/1476 , C03B19/1492 , C03B23/0013 , C03B23/0496 , C03B32/005 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52
摘要： SiO2－TiO2系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO2－TiO2系玻璃，其包括：第一工序，预先加热靶；第二工序，使规定长度的SiO2－TiO2系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长；在第一工序中对靶加热，以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。
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公开(公告)号：CN107960136A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201680024242.1
申请日：2016-02-24
申请人： 康宁股份有限公司
CPC分类号： H01L51/5268 , C03B19/1453 , C03B23/11 , C03C11/00 , H01L51/0096 , Y02E10/549 , Y02P70/521
摘要： 本文公开了一种有机发光二极管(OLED)，其包括阳极、空穴传输层、发光层、电子传输层、阴极和至少一个玻璃基材，其中，所述至少一个玻璃基材包括第一表面、相对的第二表面和设置在第一表面与相对的第二表面之间的多个空隙，其中，玻璃基材的空隙填充分数为至少约0.1体积％。本文还公开了包括所述OLED的显示装置。本文还公开了用于制造玻璃基材的方法。
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公开(公告)号：CN107922233A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048319.9
申请日：2016-08-12
申请人： 康宁公司
发明人： 新华·李 , 理查德·柯尔伍德·彼得森 , 克里斯托夫·克拉克·汤普森 , 埃兹拉·摩根·亚内尔
IPC分类号： C03B17/02 , C03B19/14 , C03B23/203 , C03B23/24 , B32B17/00 , C03C10/00 , C03C23/00 , B81C1/00
CPC分类号： C03B19/1453 , B32B17/06 , B33Y10/00 , B33Y70/00 , B81B2201/051 , B81C99/0025 , C03B17/02 , C03B19/1492 , C03B23/203 , C03B23/245 , C03C23/0025
摘要： 一种增材制造工艺包括在片材之间不使用粘结材料的情况下，使用片材形成物体材料堆叠并且在对应片材中形成3D物体的横截面层的特征。另一工艺涉及在分层的烟灰片的烟灰层中形成3D物体的横截面层的特征。一种制品包括三个或更多个玻璃层，所述玻璃层被层压在一起而所述玻璃层之间不存在任何粘结材料。所述玻璃层中的至少一者由二氧化硅或掺杂的二氧化硅制成，并且至少一个特征形成在所述玻璃层中的至少一者中。
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公开(公告)号：CN102985378B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201180033912.3
申请日：2011-07-08
申请人： 贺利氏石英英国有限公司
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1492 , C03B19/1438 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/03 , C03B2201/04 , C03B2201/20 , C03B2201/24 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2207/34 , C03B2207/52 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , Y02P40/57 , Y10T428/131
摘要： 本文揭示了透明的合成玻璃质二氧化硅玻璃的空心锭，该空心锭的外径大于400毫米且内径大于300毫米。所述锭基本不含直径大于100微米的气泡和内含物，其任何单独的金属杂质的含量不超过100ppB，并且其含有的氯浓度小于5ppM。本文还揭示了制造此类锭的方法，在该方法中将密度大于0.4克/厘米3的多孔烟炱体沉积在耐氧化的心轴上。在真空条件下或在存在还原性气体的条件下在包含以下物质的心轴上使所述烟炱体脱水，所述物质包括石墨、碳纤维增强的碳、碳化硅、硅浸渍的碳化硅、碳化硅涂覆的石墨或玻璃质二氧化硅，然后在真空条件下或在氦气的气氛中烧结成透明的无孔玻璃。
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公开(公告)号：CN102583974B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201110372600.7
申请日：2011-09-02
申请人： 信越化学工业株式会社
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/62 , C03B2207/64 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/42
摘要： 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。
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公开(公告)号：CN104995145A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201480009659.1
申请日：2014-02-19
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
发明人： B.屈恩
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B32/00 , C03B32/02 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/24 , C03C4/04 , C03C2201/11 , C03C2201/12 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , C03C2203/54 , C03C2204/00 , G02B1/00 , G02B1/02 , Y02P40/57
摘要： 本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件，所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中，所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x1016个分子/cm3至1.0x1018个分子/cm3的范围内的氢含量并且具有少于2x1017个分子/cm3的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量，其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测，提出光学部件的一种构型，其中，所述部件对利用波长为193nm、具有5x109个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500μJ/cm2以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应，所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M193nm并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M633nm，其中适用：M193nm/M633nm
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公开(公告)号：CN104245610A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020602.7
申请日：2013-04-16
申请人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： C03B37/01446 , C03B19/1453 , C03B37/01453 , C03B37/018 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/23
摘要： 本发明公开了一种由含氟的合成石英玻璃制备圆柱形组件的方法，包括以下方法步骤：制备SiO2-烟灰体；从该烟灰体中除去羟基；用氟负载所述烟灰体；使所述负载氟的烟灰体后氯化和使所述烟灰体玻璃化以获得圆柱形组件。为了实现可重复的尤其是氟的轴向和径向特别均匀的分布，根据本发明在干燥时调节烟灰体中的羟基浓度为1-300重量-ppm和在用氟负载时调节至少1500重量-ppm的平均氟含量，并且在后氯化时用氯负载而使得在所述玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中产生至少50重量-ppm的平均氯含量，进一步的条件是氟含量与氯含量的重量比小于30。
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公开(公告)号：CN101503273B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN200910004087.9
申请日：2009-02-09
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03B20/00
CPC分类号： C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/21 , C03B2201/22 , C03C3/06 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/22 , C03C2201/23 , C03C2203/54 , G03F7/70966
摘要： 本发明涉及具有低OH、OD浓度的无卤化物的玻璃。提供一种在至少约50平方厘米的孔面积上具有小于或等于约5ppm的折射率均匀性的熔凝石英玻璃。所述熔凝石英玻璃还基本不含卤素，并具有小于约160纳米的吸附边缘。该玻璃通过以下方式干燥，在固结前使硅石烟炱毛坯与一氧化碳接触，降低羟基(即，OH，其中H是氕(11H)和氘氧基(OD)，其中，D是氘(12H))的总浓度，在一个实施方式中降低至小于约20重量ppm，在另一个实施方式中降低至小于5重量ppm，在第三实施方式中降低至小于约1重量ppm。
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公开(公告)号：CN101730667B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200880023314.6
申请日：2008-04-28
申请人： 康宁股份有限公司
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/21 , C03B2201/22 , C03B2201/23 , C03B2201/31 , C03C2201/22 , C03C2201/23 , C03C2203/54
摘要： OH和OD中至少一种的合并浓度最高达到约50ppm的熔凝氧化硅玻璃和熔凝氧化硅制品。所述熔凝氧化硅玻璃这样制备：在包含干燥剂的惰性气氛中干燥熔凝氧化硅烟炱坯体，然后在包含惰性气体和氧气的气氛中加热干烟炱坯体，从干烟炱坯体中除去残余干燥剂。
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公开(公告)号：CN102985379A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201180033896.8
申请日：2011-07-07
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C03B20/00 , B29C33/38 , B29K2909/08 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/08 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , G03F7/0002
摘要： 本发明涉及一种含有TiO2的石英玻璃基材，其中，TiO2浓度为3~8质量%，OH浓度为50质量ppm以下，波长365nm下每1mm厚度的内部透射率T365为95%以上。
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