稀土类碳酸盐微粒的制造方法及稀土类碳酸盐微粒

    公开(公告)号:CN113905988A

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN202080040294.4

    申请日:2020-04-16

    Inventor: 高桥光人

    Abstract: 本发明为一种稀土类碳酸盐微粒的制造方法,其特征在于,通过制作在包含稀土类离子与相对于所述稀土类离子过量的尿素的水溶液中,以添加量相对于所述稀土类离子为10~200mol%的方式添加有具有下述式(1)所表示的结构的烷基二甲基氧化胺化合物或甲基吗啉氧化物化合物的反应溶液,并对所述反应溶液进行水热处理,从而制造稀土类碳酸盐微粒。由此,提供一种亚微米以下且分散性优异的稀土类碳酸盐微粒的制造方法。[化学式1]其中,R表示C1~C14的烷基。

    研磨组合物及其制造方法、以及研磨方法

    公开(公告)号:CN117264600A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311219029.4

    申请日:2016-05-06

    Abstract: 本发明是一种研磨组合物,其包含二氧化锆作为磨粒,所述研磨组合物的特征在于,pH值是11.0以上且未满12.5;前述二氧化锆中所包含的钠、镁、铝、钾、钙、钛、铬、铁、锰、镍、铜、锌、铅及钴的元素浓度各自未满1ppm。由此,提供一种研磨组合物,其可生产性良好地获得一种半导体基板,所述半导体基板不仅内周部的平坦性高,外周部的平坦性也高,并且由金属杂质所造成的污染少。

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