公开(公告)号：CN117242554A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202280032175.3

申请日：2022-03-30

申请人： 信越化学工业株式会社 ,  国立大学法人和歌山大学

发明人： 渡部武纪 ,  桥上洋 ,  坂爪崇寛 ,  宇野和行 ,  太田茉莉香

IPC分类号： H01L21/365

摘要： 本发明为一种原料溶液的制造方法，其是用于通过雾CVD法来进行成膜的原料溶液的制造方法，将在溶媒中混合包含金属元素的溶质并加以搅拌的温度设为30℃以上；及成膜方法，基于使用通过所述原料溶液的制造方法所制造的原料溶液的雾CVD法来进行。由此，提供一种用于通过雾CVD法来进行成膜，并且成膜速度优异，即便在将两种以上的元素的固溶体成膜时也能够进行膜中组成的再现性优异的成膜的原料溶液的制造方法；及成膜速度优异，即便在将两种以上的元素的固溶体成膜时膜中组成的再现性优异的基于雾CVD法来进行的成膜方法。

公开(公告)号：CN217781272U

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202220709479.6

申请日：2022-03-30

申请人： 信越化学工业株式会社 ,  国立大学法人和歌山大学

发明人： 渡部武纪 ,  桥上洋 ,  坂爪崇寛 ,  宇野和行 ,  太田茉莉香

IPC分类号： C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/40 ,  H01L21/02 ,  H01L21/34

摘要： 本实用新型为一种成膜系统，其进行结晶性氧化物膜的成膜包括：原料溶液制造部，制造用于进行雾化的原料溶液且为包含含有金属元素的溶质与溶媒的原料溶液；雾化部，将所制造的所述原料溶液喷雾化或液滴化而生成雾；搬送部，通过载气来将所述雾搬送至成膜部；以及成膜部，从喷嘴向基板上供给所述雾，并在所述基板上进行热处理而进行成膜，并且所述原料溶液制造部包括搅拌部件，所述搅拌部件在将包含金属元素的溶质混合于溶媒中并加以搅拌时，将温度设为30℃以上来进行搅拌。由此，可提供一种成膜速度优异的、即便在将两种以上的元素的固溶体成膜时也能够进行膜中组成的再现性优异的成膜的成膜系统。