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公开(公告)号：CN105518529A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480049627.4
申请日：2014-07-24
申请人： 信越聚合物株式会社 , 信越化学工业株式会社
IPC分类号： G03F1/66 , H01L21/673
CPC分类号： G03F1/66 , H01L21/67359 , H01L21/67393
摘要： 本发明抑制对光阻图案产生的影响并且更确实地降低因在保管、搬送或容器操作的过程中所有可能产生的尘埃或粒子的附着引起的光罩基底的污染，提高光罩基底的质量及良率。本发明涉及一种光罩基底衬底收纳容器(1)，其收纳、搬送或保管光罩基底衬底(2)，且其构成零件中的至少1个包含以40℃保持60分钟下通过动态顶空法测定的己内酰胺量以正癸烷换算计每树脂单位重量成为0.01ppm以下的热塑性树脂，并且该构成零件的表面电阻值为1.0E+13欧姆以下。
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公开(公告)号：CN101460378B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200780020195.4
申请日：2007-05-21
申请人： 信越聚合物株式会社
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67376
摘要： 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30)，在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11)，使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm，并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外，垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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公开(公告)号：CN101823604B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201010166075.9
申请日：2007-05-21
申请人： 信越聚合物株式会社
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67376
摘要： 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30)，在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11)，使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm，并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外，垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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公开(公告)号：CN101823604A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010166075.9
申请日：2007-05-21
申请人： 信越聚合物株式会社
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67376
摘要： 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30)，在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11)，使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm，并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外，垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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公开(公告)号：CN115668476A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180041454.1
申请日：2021-07-01
申请人： 信越聚合物株式会社
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
摘要： 提供能够使所成形的容器的强度或气密性提高的收纳容器及其制造方法。是以利用含有既定树脂的成形材料插入成形的容器主体1的插入部件作为功能树脂构件的收纳容器，使功能树脂构件为带有多个支撑片12的侧壁板20，侧壁板20具有：厚壁部21，其具有与容器主体1的侧壁11的壁厚同等以上的壁厚；和薄壁接合部22，其形成于该厚壁部21的周缘并夹持且接合于容器主体1的周壁2。在对容器主体1进行插入成形的情况下，使容器主体1的大部分的周壁2与侧壁板20的薄壁接合部22啮合而接合，扩大它们的接触面积。因此，能够排除容器主体1的侧壁11中的侧壁板20周缘部附近的机械强度或泄漏性的下降，能够防止容器主体1的周壁2与侧壁板20的分离。
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公开(公告)号：CN101460378A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200780020195.4
申请日：2007-05-21
申请人： 信越聚合物株式会社
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67376
摘要： 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30)，在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11)，使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm，并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外，垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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