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公开(公告)号:CN101460378A
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200780020195.4
申请日:2007-05-21
申请人: 信越聚合物株式会社
IPC分类号: B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号: H01L21/67376
摘要: 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30),在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11),使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm,并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外,垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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公开(公告)号:CN118140299A
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202280070637.0
申请日:2022-08-08
申请人: 信越聚合物株式会社
发明人: 山岸裕树
IPC分类号: H01L21/673
摘要: 提供一种基板收纳容器,该基板收纳容器即使不使用金属销,也能够排除滑动部件与弯折上锁部件的联接强度下降或弯折上锁部件从滑动部件脱落的风险。具备嵌合于能够收纳半导体晶圆的容器主体(1)的开口了的正面(2)的盖体(10)和对所嵌合的盖体(10)进行上锁的上锁机构(20),由支撑于盖体(10)并通过来自外部的操作而旋转的操作卷盘(21)、通过操作卷盘(21)的旋转而沿盖体(10)的上下方向滑动的联接杆(24)以及能够通过联接杆(24)的滑动来从盖体(10)的周缘部的出没口(12)突出而卡止于容器主体(1)的正面内周部的上锁凹穴(4)的上锁爪(27)构成上锁机构(20),用Φ1.5mm以上的树脂销(31)将上锁爪(27)以能够旋转的方式联接至联接杆(24)的顶端部。由于使用树脂销(31),能够减少金属离子的产生,消除对半导体晶圆的各种不良影响。
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公开(公告)号:CN101823604B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN201010166075.9
申请日:2007-05-21
申请人: 信越聚合物株式会社
IPC分类号: B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号: H01L21/67376
摘要: 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30),在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11),使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm,并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外,垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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公开(公告)号:CN101823604A
公开(公告)日:2010-09-08
申请号:CN201010166075.9
申请日:2007-05-21
申请人: 信越聚合物株式会社
IPC分类号: B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号: H01L21/67376
摘要: 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30),在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11),使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm,并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外,垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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公开(公告)号:CN101588906B
公开(公告)日:2013-05-29
申请号:CN200780044333.2
申请日:2007-11-14
IPC分类号: B29C45/16 , B29C45/14 , B65D1/24 , B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号: B29C45/1657 , B29C2045/1659 , H01L21/67383 , Y10T428/13 , Y10T428/1352 , Y10T428/24612
摘要: 本发明提供可从性能的观点出发适当地组合多种成形材料的多色成形体、多色成形法及基板收纳容器。在准备材质互异的第一、第二成形材料,将由第一成形材料构成的一对第一成形体(1)和由第二成形材料构成的第二成形体(3)组合为一体时,各第一成形体(1)和第二成形体(3)的边界(6)的周缘部形成为薄型突片(5)。而且,薄型突片(5)形成为向前端部逐渐变尖的薄型的剖面呈大致直角三角形,尖头的倾斜角度(θ)在5°~40°的范围内,且形成边界(6)的倾斜面(7)的长度(L)为0.4~5.0mm。若使第一、第二成形体(1、3)的边界(6)的周缘部与薄型突片(5)形成为一体,就可以适当且强固地将其组合,因此无需从接合的观点出发再考虑组合。
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公开(公告)号:CN102844853A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201180020303.4
申请日:2011-04-08
申请人: 信越聚合物株式会社
IPC分类号: H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号: H01L21/67379 , B65D2585/86 , H01L21/67303 , H01L21/67386
摘要: 提供一种能够抑制重心向盖体侧偏倚而防止向盖体侧倾斜、以稳定的姿势搬运等的基板收存容器。一种基板收存容器,具备将多片半导体晶片整齐排列收存的容器主体(1)、和将该容器主体(1)的开口的正面拆装自如地开闭的盖体,在容器主体(1)的顶棚(5)的大致中央部安装有搬运用的机器人凸缘,在容器主体(1)的背面壁(7)或侧壁(10)后部等后部设置较重的重心位置调整机构(40),通过该重心位置调整机构(40)限制基板收存容器向盖体侧倾斜。重心位置调整机构(40)位于容器主体(1)的后部,作为平衡重发挥功能,所以能够将收存了半导体晶片的基板收存容器的重心位置抑制在距半导体晶片的中央位置为±35mm以内的容许范围中。
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公开(公告)号:CN101460378B
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200780020195.4
申请日:2007-05-21
申请人: 信越聚合物株式会社
IPC分类号: B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号: H01L21/67376
摘要: 本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30),在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11),使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm,并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外,垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(31)、沿密封面(11)方向从基体(31)伸长的挠性密封片(34)、弯曲形成在密封片(34)的末端部而与密封面(11)压接的接触部(36)形成。
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公开(公告)号:CN101588906A
公开(公告)日:2009-11-25
申请号:CN200780044333.2
申请日:2007-11-14
IPC分类号: B29C45/16 , B29C45/14 , B65D1/24 , B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号: B29C45/1657 , B29C2045/1659 , H01L21/67383 , Y10T428/13 , Y10T428/1352 , Y10T428/24612
摘要: 提供可从性能的观点出发适当地组合多种成形材料的多色成形体、多色成形法及基板收纳容器。在准备材质互异的第一、第二成形材料,将由第一成形材料构成的一对第一成形体(1)和由第二成形材料构成的第二成形体(3)组合为一体时,各第一成形体(1)和第二成形体(3)的边界(6)的周缘部形成为薄型突片(5)。而且,薄型突片(5)形成为向前端部逐渐变尖的薄型的剖面呈大致直角三角形,尖头的倾斜角度(θ)在5°~40°的范围内,且形成边界(6)的倾斜面(7)的长度(L)为0.4~5.0mm。若使第一、第二成形体(1、3)的边界(6)的周缘部与薄型突片(5)形成为一体,就可以适当且强固地将其组合,因此无需从接合的观点出发再考虑组合。
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