一种绝缘栅双极型晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN114156338A

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202111487931.5

    申请日:2021-12-07

    摘要: 本发明提供一种绝缘栅双极型晶体管及其制备方法。所述绝缘栅双极型晶体管包括:漂移层;位于所述漂移层一侧的集电层,所述集电层的导电类型与所述漂移层的导电类型相反;位于所述漂移层和所述集电层之间的缓冲层,所述缓冲层的导电类型与所述漂移层的导电类型相同,且所述缓冲层的掺杂浓度高于所述漂移层的掺杂浓度;在所述缓冲层的内部设置有浮置层,所述浮置层的导电类型与所述缓冲层的导电类型相反。所述缓冲层与所述浮置层的界面处形成结势垒,阻碍载流子的扩散,改变了绝缘栅双极型晶体管集电极一侧的载流子分布,降低了发射极漏电流,提高了绝缘栅双极型晶体管的正向击穿电压。