多晶硅硅芯的夹持组件及多晶硅还原炉

    公开(公告)号:CN220223609U

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202322338196.2

    申请日:2023-08-29

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本实用新型提供一种多晶硅硅芯的夹持组件及多晶硅还原炉,其中夹持组件包括:石墨座,呈圆柱状,石墨座的周侧壁具有第一螺纹;石墨卡瓣,两个石墨卡瓣均设于石墨座的上端面上,两个石墨卡瓣的形心在上端面的正投影点与上端面的圆心点构成第一夹角,第一夹角的角度值为180°;两个石墨卡瓣在上端面的正投影均呈角弧度为60°的扇形;石墨盖具有第一腔室,石墨盖还具有第一开口及第二开口;石墨卡瓣自第二开口伸入第一腔室中且自第一开口部分伸出至第一腔室外;第一腔室的内侧壁具有第二螺纹。本实用新型能够实现有效避免倒炉危害,确保高多晶硅生产效率,确保硅芯在多晶硅生产的高压电击穿过程中升温均匀,提高多晶硅生产效率。